[发明专利]涂布装置

权利要求书

1.一种涂布装置，其特征在于，包括：

涂布元件，该涂布元件将涂布液供给至基板；

涂料器，该涂料器配置在所述基板的涂布表面上，并将所述涂布液拨开；

多个保持加压元件，这些保持加压元件在所述涂料器的长边方向上以规定的间隔设置，并对所述涂料器进行保持；以及

升降元件，该升降元件与多个所述保持加压元件连接，并通过所述保持加压元件将所述涂料器朝重力方向加压。

2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

所述升降元件具有独立地对各个所述保持加压元件进行加压的多个加压元件。

3.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，

在将所述间隔设为P、将所述基板的宽度方向上的长度设为L、将所述基板的规定位置处的翘曲量设为dZ、将涂料器的截面二次矩设为Iy、将所述涂料器的杨氏模量设为E的情况下，在所述规定位置处的所述保持加压元件对所述杆施加的载荷W_i定义为：

（数学式1）

Wi>384×dZ×E×IyL3×P---(1).]]>

4.如权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，

使所述涂料器的杨氏模量与所述截面二次矩的积最小。

5.如权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，

所述加压元件为弹簧，所述弹簧对所述保持加压元件进行加压的载荷为所述弹簧的弹簧常数与所述弹簧的变形量的积，使所述弹簧常数最小并所述弹簧的变形量最大。

6.如权利要求1至5中任一项所述的涂布装置，其特征在于，

所述涂料器是由圆筒状或管形状的芯材和卷绕在所述芯材的表面上的线材构成的杆。

7.如权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，

被所述杆拨开的所述涂布液的膜厚取决于由邻接的所述线材和所述基板形成的间隙的体积。