[发明专利]一种氟化氢车间安全自动控制系统在审
申请号: | 201310000972.6 | 申请日: | 2013-01-05 |
公开(公告)号: | CN103914024A | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 吴建良;胡美艳 | 申请(专利权)人: | 昆山晶科微电子材料有限公司 |
主分类号: | G05B19/418 | 分类号: | G05B19/418 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215341 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氟化氢 车间 安全 自动控制系统 | ||
技术领域
本发明涉及一种安全生产控制系统,尤其涉及一种氟化氢车间安全自动控制系统。
背景技术
氟化氢是一种无色透明发烟液体,为氟化氢气体的水溶液。呈弱酸性,有刺激性气味,与硅和硅化合物反应生成气态的四氟化硅,但对塑料、石蜡、铅、金、铂不起腐蚀作用,能与水和乙醇混溶。相对密度1.298。38.2%的氟化氢为共沸混合物,共沸点112.2℃。剧毒,最小致死量(大鼠,腹腔)25mG/kG。有腐蚀性,能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体。如吸入蒸气或接触皮肤能形成较难愈合的溃疡。因此,不仅在使用中要加倍小心,在生产过程中同样要严格控制。
发明内容
本发明是为了解决上述不足,提供了一种氟化氢车间安全自动控制系统。
本发明的上述目的通过以下的技术方案来实现:一种氟化氢车间安全自动控制系统,包括可编程逻辑控制器、人机界面、滤波器、电源、备用电源和继电器,所述可编程逻辑控制器、人机界面和电源连接,所述备用电源与电源连接,电源连接滤波器接入市电电线,市电电线上设有总开关,所述电源与备用电源之间设有继电器。
本发明的工作原理:氟化氢储罐进料、气化釜加料设置重量连锁,由称重仪表提供设定重量输出开关量信号,作为可编程逻辑控制器连锁控制输入信号;氟化氢气化釜设置压力检测,作负压控制,控制汽化釜顶部放空管控制阀门;氟化氢吸收釜设置温度检测控制连锁,与汽化釜的蒸汽供热形成连锁,控制氟化氢的通气量;断电紧急情况下,由UPS提供备电,自动关闭蒸汽阀门。
本发明与现有技术相比的优点是:该系统采用三层控制系统,通过可编程逻辑控制器控制器实现现场自动控制与安全联锁,通过HMI人机界面完成现场大部分人工操作,经组态软件实现对现场的监视与数据存储。
附图说明
图1是本发明的电气图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进一步详述:
如图1所示,一种氟化氢车间安全自动控制系统,包括可编程逻辑控制器1、人机界面2、滤波器3、电源4、备用电源5和继电器6,所述可编程逻辑控制器1、人机界面2和电源4连接,所述备用电源5与电源4连接,电源4连接滤波器3接入市电电线,市电电线上设有总开关7,所述电源4与备用电源5之间设有继电器8。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
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