[发明专利]一种压力调节装置

权利要求书

1.一种压力调节装置，其特征性在于，包括：

执行机构(1)，其包括感温腔(3)、温控装置(4)、粗压调节机构(5)、造压腔(10)，所述造压腔(10)和所述感温腔(3)的腔体相通，腔体内部压力相等；

控制机构(2)，其包括处理器(6)、触摸屏(7)、模拟数字转换器(8)、压力传感器(9)，所述压力传感器(9)感知所述造压腔(10)内的压力，输出电信号，经模拟数字转换器(8)采集所述电信号后，由所述处理器(6)解算，得到实时的压力值，所述处理器(6)通过比较用户通过所述触摸屏(7)输入的压力设定值与压力当前值的误差值，将所述误差值与设定误差阈值比较后，对所述执行机构(1)进行双闭环控制，调节所述造压腔(10)内的压力。

2.如权利要求1所述的压力精密调节装置，其特征在于，所述双闭环控制进一步包括：

当误差值处于所述设定误差阈值区间之外时，所述处理器(6)启动内环，控制所述粗压调节机构(5)快速进行粗压调节；

当所述误差值处于所述误设定误差阈值区间之内时，所述处理器(6)启动外环，控制所述温控装置(4)，改变所述感温腔(3)的温度，以改变所述感温腔(3)的腔体体积。

3.如权利要求1所述的压力调节装置，其特征在于，所述的感温腔为铝制、铜质或铁质的高热膨胀系数的耐压容器。

4.如权利要求1-3任一项所述的压力调节装置，其特征在于，所述温控装置由功率电阻、Pt热电偶、散热片和电源构成。

5.如权利要求1-4任一项所述的压力精密调节装置，其特征在于，所述压力传感器(9)为硅压阻式压力传感器、谐振式压力传感器、电容式压力传感器。

6.如权利要求1-5任一项所述的压力调节装置，其特征在于，所述模拟数字转换器(8)为∑-Δ型模拟数字转换器(8)。