[发明专利]基板镀敷夹具

权利要求书

1.一种镀敷夹具，具备：形成为能够保持被镀敷基板的基座部和盖部、以及被基座部与盖部夹持而将被镀敷基板定位的中心部，其特征在于，

上述基座部、上述盖部以及上述中心部都具有在中央具有开口的环状部，在基座部环状部以及盖部环状部安装有在彼此对置的面上配设有通电环的密封垫，被镀敷基板配置在中心部的开口内，利用安装于盖部以及中心部的上述密封垫来从正反两面夹持被镀敷基板。

2.根据权利要求1所述的镀敷夹具，其特征在于，上述密封垫形成为剖面大致字状，利用上述密封垫的内周侧竖起部来夹持被镀敷基板。

3.根据权利要求1或2的任意一项所述的镀敷夹具，其特征在于，上述通电环形成为容纳在上述密封垫的内部的环状，上述通电环的内周缘形成有向斜上方突出而与被镀敷基板的表面或背面接触的多个电极接点。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的镀敷夹具，其特征在于，在被镀敷基板的外周缘部与上述中心部环状部的内周侧端部抵接的状态下保持被镀敷基板。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的镀敷夹具，其特征在于，上述中心部的内周侧端部形成为与基座部以及盖部的内周侧端部相比更向外周侧退后。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的镀敷夹具，其特征在于，上述中心部具备从上述环状部向上方延伸设置的臂部，在上述臂部凹设有能够配设通电棒的槽部，在环状部贯通形成有通电用开口部，上述通电棒从上述槽部向上述通电用开口部贯通设置。

7.根据权利要求6所述的镀敷夹具，其特征在于，上述通电棒的下端在上述通电用开口部内露出，在该部分中接点部件被设置成能够与上述通电环接触。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的镀敷夹具，其特征在于，具备夹钳部，上述夹钳部形成为在保持着被镀敷基板的状态下能够嵌合安装于上述基座部、上述盖部以及上述中心部的外缘。

9.根据权利要求8所述的镀敷夹具，其特征在于，上述夹钳部以能够向左右转动自如的方式枢轴设置于基座部，上述盖部以能够向前后转动自如的方式枢轴设置于基座部。