[发明专利]钝化结晶硅太阳能电池的先进平台

权利要求书

1.一种太阳能电池处理系统，该太阳能电池处理系统包含：

基板自动化系统，该基板自动化系统具有经配置以在第一方向上移送基板顺次穿过处理区域的一或更多个输送机，其中该处理区域维持在低于大气压力的压力下；

第一处理腔室，该第一处理腔室具有设置在该处理区域中的两个或两个以上第一沉积源，其中每一第一沉积源经配置以在该等基板相对于该两个或两个以上第一沉积源被移送穿过该处理区域时将处理气体单独地输送至该等基板的每一者的表面；及

第二处理腔室，该第二处理腔室具有设置在该处理区域中的两个或两个以上第一沉积源，其中每一第二沉积源经配置以在该等基板相对于该两个或两个以上第二沉积源被移送穿过该处理区域时将处理气体单独地输送至该等基板的每一者的该表面。

2.如权利要求1所述的太阳能电池处理系统，其特征在于，该太阳能电池处理系统进一步包含：

第一基板接口模块，该第一基板接口模块设置在该基板自动化系统的第一端处，并具有经配置以将基板从基板载体顺次移送至该基板自动化系统的自动化装置；及

第二基板接口模块，该第二基板接口模块设置在该基板自动化系统的第二端处，并具有经配置以将基板从该基板自动化系统顺次移送至基板载体的自动化装置。

3.如权利要求1所述的太阳能电池处理系统，其特征在于，该一或更多个输送机包含第一输送机及第二输送机，且该处理系统进一步包含：

基板重定向装置，该基板重定向装置设置在该处理区域中，并具有经配置以绕轴旋转基板以将该等基板从第一定向重定向至第二定向的致动器，其中该基板重定向装置经定位以从该第一输送机接收以该第一定向设置的基板并将该等经重定向的基板移送至该第二输送机。

4.如权利要求1所述的太阳能电池处理系统，其特征在于，该第二沉积源围绕该第一沉积源。

5.如权利要求5所述的太阳能电池处理系统，其特征在于，该第一沉积源包含：

第一外壳；

第一电极，该第一电极设置在该第一外壳中，该第一外壳经定形以形成第一空腔部分；第一磁分路，该第一磁分路与该第一电极耦接；

第一板材，该第一板材与该第一外壳耦接；及

第一磁铁，该第一磁铁邻近该第一板材并邻近该第一空腔部分的一端设置。

6.如权利要求6所述的太阳能电池处理系统，其特征在于，该第二沉积源包含：

第二外壳；

第二电极，该第二电极设置在该第二外壳中，该第二外壳经定形以形成第二空腔部分；

第二磁分路，该第二磁分路与该第二电极耦接；

第二板材，该第二板材与该第二外壳耦接；及

第二磁铁，该第二磁铁邻近该第二板材并邻近该第二空腔部分的一端设置。

7.如权利要求1所述的太阳能电池处理系统，其特征在于，该太阳能电池处理系统进一步包含装载锁定腔室，该装载锁定腔室具有设置在该装载锁定腔室中的装载锁定区域，其中该装载锁定腔室包含：

多个分离机构，该多个分离机构耦接至设置在该装载锁定腔室中的线性输送机构并且该多个分离机构经定位以将该装载锁定区域划分成多个分立区域；及

一或更多个致动器，该一或更多个致动器与该装载锁定区域流体连通并经配置以降低该多个区域的每一者中的该压力。

8.如权利要求8所述的太阳能电池处理系统，其特征在于，该装载锁定腔室进一步包含：

第一致动器，该第一致动器经配置以在该多个分立区域的第一分立区域内提供压力；

第二致动器，该第二致动器经配置以在该多个分立区域的第二分立区域内提供大于该第一分立区域内的该压力的压力；及

第三致动器，该第三致动器经配置以在该多个分立区域的第三分立区域内提供大于该第二分立区域内的该压力的压力。