[发明专利]弹性表面波装置

权利要求书

1.一种弹性表面波装置，其具备使用切割角相同的压电体而构成的多个弹性表面波元件，该弹性表面波元件使用了声速比在压电体中传播的体波更快的弹性表面波，

各所述弹性表面波元件具有：所述压电体、设置在所述压电体上的IDT电极、和设置在所述压电体的设有所述IDT电极的一侧的相反侧且将所述弹性表面波限制在所述压电体侧的限制层，

在所述多个弹性表面波元件中，至少一个弹性表面波元件中的弹性表面波的传播方位与其他的至少一个弹性表面波元件中的弹性表面波的传播方位不同。

2.根据权利要求1所述的弹性表面波装置，其中，

所述多个弹性表面波元件构成在单一的压电体上。

3.根据权利要求1或2所述的弹性表面波装置，其中，

所述至少一个弹性表面波元件的频带宽度与所述其他的至少一个弹性表面波元件的频带宽度不同。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性表面波装置，其中，

所述限制层由在该限制层中传播的体波声速比所述弹性表面波的传播速度更快的电介质构成。

5.根据权利要求4所述的弹性表面波装置，其中，

所述电介质是从由氮化铝、氮化硅、氧化铝、氮氧化硅以及类金刚石碳构成的群组之中选择出的一种电介质、或者多种电介质的混合物、层叠物。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的弹性表面波装置，其中，

所述弹性表面波为横波，

所述IDT电极的厚度被设为所述弹性表面波的声速变得比在所述压电体中传播的慢横波的声速更快的厚度。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的弹性表面波装置，其中，

所述弹性表面波为纵波，

所述IDT电极的厚度被设为所述弹性表面波的声速变得比在所述压电体中传播的纵体波的声速更快的厚度。

8.根据权利要求1～6中任一项所述的弹性表面波装置，其中，

所述弹性表面波为横波，

所述IDT电极的占空比被设为变得比在所述压电体中传播的慢横波的声速更快的占空比。

9.根据权利要求1～5、7中任一项所述的弹性表面波装置，其中，

所述弹性表面波为纵波，

所述IDT电极的占空比被设为变得比在所述压电体中传播的纵体波的声速更快的占空比。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的弹性表面波装置，其中，

所述弹性表面波装置还具备：低声速层，其设置在所述压电体与所述限制层之间，且该低声速层的体波的声速比在所述压电体中传播的体波的声速以及在限制层中传播的体波的声速慢。

11.根据权利要求10所述的弹性表面波装置，其中，

所述低声速层由氧化硅构成。

12.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性表面波装置，其中，

所述限制层是声阻抗相对高的第1材料层和声阻抗相对低的第2材料层层叠而成的布拉格反射器。

13.根据权利要求12所述的弹性表面波装置，其中，

所述第1材料层通过从由Cu、Au、Mo、Ni以及W构成的群组之中选择出的至少一种构成。

14.根据权利要求12所述的弹性表面波装置，其中，

所述第2材料层由氧化硅或者聚合物构成。

15.根据权利要求1～14中任一项所述的弹性表面波装置，其中，

所述弹性表面波装置为滤波器或者谐振器。

16.根据权利要求15所述的弹性表面波装置，其中，

所述弹性表面波装置为纵耦合型弹性表面波滤波器。