[发明专利]直动促动器用的磁式负载传感器以及直动促动器

权利要求书

1.一种直动促动器用的磁式负载传感器，该直动促动器用的磁式负载传感器检测直动促动器施加于对象物（22）的轴向负载的大小，

所述直动促动器用的磁式负载传感器的特征在于，具有：

凸缘部件（2），其经由推力轴承（41）承受所述轴向负载的反作用力从而产生弯曲；

磁性目标（4），其产生磁场；以及

磁性传感器（5），其配置为其相对于磁性目标（4）的相对位置因所述凸缘部件（2）的弯曲而发生变化，

在所述凸缘部件（2）的轴向端面形成有与所述推力轴承（41）的滚动体（41B）滚动接触的滚道面。

2.根据权利要求1所述的直动促动器用的磁式负载传感器，其特征在于，

所述推力轴承（41）是使用滚珠作为滚动体（41B）的推力球轴承，

所述滚道面是剖面呈圆弧状的槽（10）。

3.根据权利要求1所述的直动促动器用的磁式负载传感器，其特征在于，

所述推力轴承是使用圆柱滚子或者针状滚子作为滚动体（41B）的推力滚子轴承，

所述滚道面是实施热处理而固化所得的平面（46）。

4.根据权利要求1所述的直动促动器用的磁式负载传感器，其特征在于，

所述推力轴承（41）是使用球面滚子作为滚动体（41B）的推力自动调心滚子轴承，

所述滚道面是相对于所述轴向负载的方向倾斜的剖面圆弧状的凹面（47）。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的直动促动器用的磁式负载传感器，其特征在于，

所述磁性目标（4）形成为：将多个永久磁铁（11）配置为具有相反极性的磁极沿所述磁性目标（4）与磁性传感器（5）的相对位移方向并排，其中，所述多个永久磁铁（11）将相对于所述磁性目标（4）与磁性传感器（5）的相对位移方向正交的方向作为磁化方向，并且，

在所述多个永久磁铁（11）的相邻的磁极的边界附近配置有所述磁性传感器（5）。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的直动促动器用的磁式负载传感器，其特征在于，

使用霍尔IC作为所述磁性传感器（5）。

7.根据权利要求1～5中的任一项所述的直动促动器用的磁式负载传感器，其特征在于，

使用磁电阻元件作为所述磁性传感器（5）。

8.根据权利要求1～5中的任一项所述的直动促动器用的磁式负载传感器，其特征在于，

使用磁阻抗元件作为所述磁性传感器（5）。

9.根据权利要求1～8中的任一项所述的直动促动器用的磁式负载传感器，其特征在于，

将钕磁铁用于所述磁性目标（4）。

10.一种直动促动器，该直动促动器具有：被输入电动马达（27）的旋转的旋转轴（23）、以及将该旋转轴（23）的旋转转换为直动部件（25、51、61）的轴向移动的直动机构，并且通过该直动机构向对象物（22）施加轴向负载，

所述直动促动器的特征在于，

作为承受在向对象物（22）施加所述轴向负载时作用于直动机构的反作用力的部件而组装有根据权利要求1～9中的任一项所述的磁式负载传感器。