[发明专利]超声波清洗装置及其功率控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及对被清洗物进行超声波清洗的超声波清洗装置及其功率控制方法等。

背景技术

现有的超声波清洗装置具有向对被清洗物进行清洗的清洗液供给超声波的超声波振子、振荡器以及电源部，该振荡器具有振荡部、检测部以及运算部。在超声波振子电连接有振荡器，在振荡器电连接有电源部。由该振荡部振荡产生的功率向超声波振子输出。该输出的功率由检测部进行检测，并由运算部比较该检测出的功率值是否与设定功率值(即作为施加于超声波振子的功率合适的功率值)发生了偏离。然后，在向超声波振子输出的功率值偏离了设定功率值的情况下，向超声波振子输出控制为设定功率值的功率(例如参照专利文献1)。

为了使实际施加于超声波振子的功率变为设定功率值，需要通过检测部正确地检测施加于超声波振子的功率。该检测部，通过在工厂等对超声波清洗装置进行制造时利用功率校正器进行调整，能够正确地检测功率值。

在如上述那样现有的超声波清洗装置中，通过检测部来检测施加给超声波振子的功率值，将该功率值与设定功率值进行比较，进行控制以使得施加给超声波振子的功率值变为设定功率值。由此，即使由于环境条件(例如清洗液的温度、质量、种类或被清洗物的种类)等施加于超声波振子的功率发生变化，也能够使该功率值与设定功率值一致，其结果，能够抑制超声波清洗的效率下降。

但是，由于并不是在振荡器内部的检测部中，设置有构成为功率计的设备，因而该检测部所进行的功率管理比较简易。此外，也可以想到在超声波清洗装置中交换了超声波振子的情况下，由检测部检测出的功率值会偏离正确值的情况。

【在先技术文献】

【专利文献】

专利文献1：JP特开2000-49619号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明的一个方式在于，提供一种能够进一步提高功率管理的可靠性的超声波清洗装置及其功率控制方法。

解决课题的手段

本发明的一个方式的超声波清洗装置的特征在于，

所述超声波清洗装置具备：清洗液，其对被清洗物进行清洗；超声波振子，其向所述清洗液供给超声波；振荡器，其与所述超声波振子电连接；和功率计，其测定施加于所述超声波振子的功率，所述振荡器具有：振荡部；控制部，其进行控制以使得由所述振荡部振荡产生的第1功率变为设定功率值并向所述超声波振子输出；检测部，其检测由所述控制部向所述超声波振子输出的第2功率；记录部，其记录第1校正值以及第2校正值；和运算部，其分别与所述检测部、所述控制部、所述记录部以及所述功率计电连接，所述运算部具有如下功能：导出利用所述第1校正值对由所述检测部检测出的第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用所述第2校正值对由所述功率计测定的测定功率值进行了校正的第2校正功率值，将所述第2校正功率值与所述第1校正功率值进行比较，在所述第1校正功率值偏离了所述第2校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第1校正值进行了修正以使得所述第1校正功率值变为所述第2校正功率值的第1修正校正值记录到所述记录部。