[发明专利]用于测量表面的干涉距离测量方法以及这样的测量装置

权利要求书

1.一种用于测量表面（13）的距离测量方法，所述表面（13）特别是工业工件的表面，所述距离测量方法包括以下至少一个步骤：

-产生激光束，该激光束的波长能通过激光源（1）的频率调制，特别是以斜坡的形式，在波长范围内进行调谐，以提供具有相干长度，特别是具有大于1mm，优选地大于60mm的相干长度的测量辐射（MS），

-将所述测量辐射（MS）发射到所述表面（13）上，所述表面（13）位于预定距离范围内，

-接收从所述表面（13）背向散射的所述测量辐射（MS），以及

-采用测量干涉仪臂和参考干涉仪臂对参考点到所述表面（3）进行干涉距离测量，

具体地，其中，所述测量辐射（MS）是在待测量的所述表面（13）上方进行扫描引导期间发射的并且再次被接收，并且在所述干涉距离测量期间，测量干涉仪臂和参考干涉仪臂具有优选地具有参考表面的部分共用的束路径，所述参考表面限定了所述参考干涉仪臂并且位于用于发射所述激光束的束成形光学元件内，

所述距离测量方法的特征在于，

-所述预定距离范围至少部分地位于所述相干长度外，特别是完全地位于所述相干长度外，并且

-所述测量辐射被分成两个辐射部分（5、6），其中一个辐射部分（6）相对于另一个辐射部分被时间延迟，使得由此造成的光程差对应于与所述预定距离范围内的距离加上或减去所述激光的所述相干长度相对应的光程差。

2.根据权利要求1所述的距离测量方法，其特征在于，由所述延迟引起的光程差

-至多对应于与到待测量的所述表面（13）的距离相对应的光程差，并且

-至少对应于与到待测量的所述表面（13）的距离减去所述激光的所述相干长度相对应的光程差。

3.根据权利要求1或2所述的距离测量方法，其特征在于，由所述延迟引起的光程差

-至少对应于与到待测量的所述表面（13）的距离相对应的光程差，并且

-至多对应于与到待测量的所述表面（13）的距离加上所述激光的所述相干长度相对应的光程差。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的距离测量方法，其特征在于，所述延迟发生在将所述测量辐射（MS）发射到待测量的所述表面（13）上之前。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的距离测量方法，其特征在于，所述延迟发生在接收到从待测量的所述表面（13）背向散射的所述测量辐射（MS）之后。

6.根据前述权利要求中任一项所述的距离测量方法，其特征在于，提供了多个可选择的离散延迟时间。

7.根据前述权利要求中任一项所述的距离测量方法，其特征在于，通过使用测量干涉仪臂和参考干涉仪臂并且通过所述两个辐射部分（5、6），产生了总共四个辐射场，这四个辐射场在所述干涉距离测量期间叠加。