[发明专利]真空泵无效

专利信息
申请号: 201280018711.0 申请日: 2012-05-29
公开(公告)号: CN103477080A 公开(公告)日: 2013-12-25
发明(设计)人: 百济壮一;新村惠弘;长山真己 申请(专利权)人: 株式会社荏原制作所
主分类号: F04C25/02 分类号: F04C25/02;F04C18/18;F04C23/00
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 苏娟;尹景娟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 真空泵
【权利要求书】:

1.一种真空泵,包括:

泵壳,所述泵壳具有入口、出口和限定在其中的泵室;

转动轴,所述转动轴具有通过轴承可转动地支承的相对端部并且在泵壳中纵向地延伸;和

转子,所述转子容纳在泵室内并且联接到转动轴用于与转动轴一致地转动;

其中,所述泵壳具有限定在其中的通向大气的舱,所述通向大气的舱保持与泵壳的出口流体连通并且通向大气。

2.根据权利要求1所述的真空泵,其中,所述泵室包括保持彼此流体连通的多个泵室,并且所述转子包括分别设置在泵室内用于与转动轴一致地转动的多个转子。

3.根据权利要求1所述的真空泵,还包括:

设置在泵壳的端壁上的侧板,转动轴延伸经过所述侧板,所述侧板具有限定在其中的吹扫气体通道,所述吹扫气体通道用于向转动轴的设置在侧板中的一部分供应吹扫气体。

4.根据权利要求2所述的真空泵,还包括:

设置在泵壳的端壁上的侧板,转动轴延伸经过所述侧板,所述侧板具有限定在其中的吹扫气体通道,所述吹扫气体通道用于向转动轴的设置在侧板中的一部分供应吹扫气体。

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