[发明专利]显示装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示装置及其制造方法。

背景技术

近年来，液晶显示装置和有机EL显示装置等薄型的显示装置的开发在急速推进。为了提高显示品质，这些薄型的显示装置通常具有在多个像素的每一个像素中配置用于驱动该像素的开关元件的有源矩阵基板。

也就是说，显示装置具有上述有源矩阵基板和与该基板相对配置并且隔着框状的密封部件贴合的对置基板。在显示装置中，在密封部件的内侧形成显示区域，在该显示区域的周围外侧形成非显示区域。

在构成有源矩阵基板的显示区域的区域，在多个像素的每一个像素中形成有作为开关元件的例如TFT（薄膜晶体管）。上述TFT具有例如a-Si（非晶硅）等的半导体层。另外，在各像素中分别形成有与TFT连接的像素电极。

另一方面，在构成有源矩阵基板的非显示区域的区域中，在密封部件的外侧形成有多个端子。在该多个端子中安装有外部电路。另外，各端子形成在从上述显示区域引出的引出配线的端部。

图59是放大表示现有的显示装置的密封部件的附近的截面图。如图50所示，在有源矩阵基板101与对置基板102之间设置有密封部件103。在有源矩阵基板101中的密封部件103的形成区域，形成有引出配线104。为了保护该引出配线104，引出配线104由栅极绝缘膜105和保护膜106覆盖。进一步，在该栅极绝缘膜105和保护膜106之上，形成有包括感光性有机绝缘膜的层间绝缘膜107。虽省略图示，但层间绝缘层107也在显示区域中形成。在显示区域的层间绝缘膜107的表面形成有像素电极。另一方面，在密封部件103的形成区域，在层间绝缘膜107的表面形成有上述密封部件103。

在此，已知在制造形成多个a-Si的TFT的有源矩阵基板的情况下，例如使用5张掩模的方法。在该5张掩模的工序中，通过第一掩模进行栅极材料层的图案形成，通过第二掩模进行a-Si层的图案形成。进一步，通过第三掩模进行源极材料层的图案形成，通过第四掩模进行感光性有机绝缘膜的图案形成。以该感光性有机绝缘膜为掩模对栅极绝缘膜等绝缘膜进行蚀刻。之后，通过第五掩模进行构成像素电极的ITO（Indium Tin Oxide：铟锡氧化物）膜的图案形成。

这样，在密封部件的形成区域，为了形成保护引出配线的栅极绝缘膜和保护膜，需要在该栅极绝缘膜和保护膜之上残留包括感光性有机绝缘膜的层间绝缘膜。

然而，在上述显示装置中，由于外部的水分从密封部件与层间绝缘膜的界面向密封部件的内侧（即显示区域侧）渗透，因此存在显示品质变差，显示的可靠性降低的问题。

对此，专利文献1中公开：在密封部件的形成区域，在层间绝缘膜形成槽部，在该槽部的内侧和槽部的两侧的层间绝缘膜的表面形成密封部件。由此，防止密封部件与层间绝缘膜的界面处的水分的渗透。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-53815号公报

发明内容

发明需要解决的课题

然而，如上述专利文献1所公开的显示装置，虽然降低了在密封部件与层间绝缘膜的界面的水分的渗透，但由于层间绝缘膜本身具有透湿性，因此外部的水分依然有可能渗透至密封部件的内侧的显示区域侧。

本发明是鉴于上述的技术问题而完成的，其目的在于，在密封部件的形成区域保护引出配线，并且可靠地防止外部的水分向密封部件的内侧渗透。

用于解决技术问题的技术方案

为了实现上述目的，本发明的显示装置以下述显示装置为对象，该显示装置包括：有源矩阵基板；与上述有源矩阵基板相对配置的对置基板；和介于上述有源矩阵基板与上述对置基板之间的框状的密封部件，在上述密封部件的框内形成有显示区域，而在该显示区域的外侧周围形成有包含上述密封部件的形成区域的非显示区域。

并且，在上述有源矩阵基板的上述显示区域设置有：包括感光性有机绝缘膜的层间绝缘膜；与该层间绝缘膜不同的绝缘膜；和形成在上述层间绝缘膜的表面并且配置为矩阵状的多个像素电极，在上述有源矩阵基板的上述非显示区域形成有从上述显示区域引出的引出配线，在上述密封部件的形成区域，上述层间绝缘膜被去除，并且以覆盖上述引出配线的一部分的方式设置有上述绝缘膜，在该绝缘膜的表面直接形成有上述密封部件。

另外，本发明的显示装置的制造方法以通过将有源矩阵基板与对置基板隔着框状的密封部件贴合来制造显示装置的方法作为对象。