[发明专利]涂敷装置以及涂敷方法

权利要求书

1.一种涂敷装置，向内部具有空间部的涂敷对象物的内面涂敷涂液，其特征在于，具有：

保持机构，保持上述涂敷对象物；

第1机构，使上述涂敷对象物以通过上述涂敷对象物内部的第1旋转轴为中心旋转；以及

第2机构，使上述涂敷对象物以与上述第1旋转轴交叉的第2旋转轴为中心旋转。

2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

上述第2旋转轴沿大致铅垂方向延伸，上述第1旋转轴与上述第2旋转轴所形成的角度超过0度、小于90度。

3.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

上述涂敷对象物具有开口部和与上述开口部对置的底部，

上述保持机构，以不与上述第2旋转轴重合的方式保持上述涂敷对象物，并且以上述开口部和上述底部位于上述第1旋转轴上的方式、且以上述底部侧成为上述第2旋转轴侧的方式保持上述涂敷对象物。

4.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

上述保持机构具有保持部，该保持部包括：保持部主体；以及保持罩，覆盖上述涂敷对象物的至少一部分，将上述涂敷对象物保持于上述保持部主体。

5.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

具有转速控制机构，该转速控制机构对以上述第1旋转轴为中心的上述涂敷对象物的转速和以上述第2旋转轴为中心的上述涂敷对象物的转速的至少一方进行控制。

6.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

具有涂液供给机构，该涂液供给机构向上述涂敷对象物的内部供给涂液。

7.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

上述涂敷对象物为大致半球状、大致球状或大致圆筒状。

8.一种涂敷方法，其特征在于，

使用涂敷装置向涂敷对象物的内面涂敷涂液，上述涂敷装置具有：保持机构，保持上述涂敷对象物；第1机构，使上述涂敷对象物以通过上述涂敷对象物内部的第1旋转轴为中心旋转；以及第2机构，使上述涂敷对象物以与上述第1旋转轴交叉的第2旋转轴为中心旋转，

该涂敷方法具有：

第1工序，不进行以上述第2旋转轴为中心的上述涂敷对象物的旋转，而进行以上述第1旋转轴为中心的上述涂敷对象物的旋转；以及

第2工序，在上述第1工序之后，进行以上述第1旋转轴为中心的上述涂敷对象物的旋转，并且进行以上述第2旋转轴为中心的上述涂敷对象物的旋转。