[实用新型]废水循环利用系统

权利要求书

1.一种废水循环利用系统，应用于单多晶硅片制造，其特征在于，该系统包括： 

第一级沉淀池（11）； 

第二级沉淀池（12）； 

过滤器（13）；其中， 

所述第一级沉淀池（11）、所述第二级沉淀池（12）、所述过滤器（13）依次串联； 

所述第一级沉淀池（11）具有与中等水质用水环节和低等水质用水环节的废水出口（A）相连的第一级废水接收口以及将沉淀后的废水排出的第一级沉淀池出口； 

所述第二级沉淀池（12）具有与所述第一级沉淀池出口相连的第二级沉淀池入口以及与高等水质用水环节的废水出口（B）相连的第二级废水接收口； 

所述高等水质用水环节、所述中等水质用水环节、和所述低等水质用水环节是根据单多晶硅片制造过程中各用水环节对水质的要求而划分。 

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一级沉淀池（11）和所述第二级沉淀池（12）为平流式沉淀池。 

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述过滤器（13）为砂滤器。 

4.根据权利要求1、2或3所述的系统，其特征在于，还包括滤前泵（16）、滤后储水槽（19）、增压泵（17）和压力罐（18），其中： 

所述第二级沉淀池（12）与所述过滤器（13）之间通过所述滤前泵（16）相连，所述滤前泵（16）的输入端与所述第二级沉淀池（12）相连，所述滤前泵（16）的输出端与所述过滤器（13）相连； 

所述过滤器（13）与所述压力罐（18）之间设置所述滤后储水槽（19），所述滤后储水槽用于存储所述过滤器（13）过滤后的水； 

所述滤后储水槽（19）与所述压力罐（18）之间通过所述增压泵（17）相连，所述增压泵（17）的输入端与所述滤后储水槽（19）相连，所述增压泵（17）的输出端与所述压力罐（18）的输入端相连； 

所述压力罐（18）的输出端与所述中等水质用水环节和所述低等水质用水环节的供水输入端相连。 

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，还包括控制器，所述滤后储水槽（19）内由高至低设置有第一高液位传感器（191）、第一中液位传感器（192）和第一低液位传感器（193）三个液位传感器，其中， 

所述控制器分别与所述第一高液位传感器（191）和所述滤前泵（16）相连，用于在液位达到所述第一高液位传感器（191）时停止所述滤前泵（16）； 

所述控制器分别与所述第一中液位传感器（192）和所述增压泵（17）相连，用于在液位达到所述第一中液位传感器（192）时启动所述增压泵（17）； 

所述控制器分别与所述第一低液位传感器（193）和所述增压泵（17）相连，用于在液位低于所述第一低液位传感器（193）停止所述增压泵（17）。 

6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，还包括第一三通阀（132）； 

所述增压泵（17）和所述压力罐（18）分别连接至所述第一三通阀（132）的两端，该第一三通阀（132）的第三端与所述过滤器（13）的反洗水路（131）连接。 

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，所述过滤器（13）的反洗排污出口与所述第一级沉淀池（11）的入口连接。