[实用新型]滤网板及应用该滤网板来降低腔室内污染物的真空设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种有效降低真空设备腔室内污染物的滤网板。 

背景技术

真空设备在许多领域的使用都非常广泛，比如平板显示领域、太阳能领域及半导体领域。真空设备的种类也很多，比如真空镀膜设备（CVD、PVD），干法刻蚀设备等，这些真空设备腔室在使用过程中很容易产生污染物及副产物，而这些污染物的一些会被抽出腔室，而有一些会残留在腔室内部，形成悬浮物或者吸附在腔室内壁上，如果不针对设备进行清洁保养，这些残留在腔室内的污染物会对腔室内的产品（硅片、玻璃基板等）造成很大的影响，比如致使薄膜质量差、工艺缺陷增多、刻蚀残留等。而对设备进行高频率的保养，会增加人力、备件、设备损耗等一系列成本。 

发明内容

本实用新型提供一种滤网板及应用该滤网板来降低腔室内污染物的真空设备，可减少对真空设备腔室的保养频率并简化保养流程。 

为实现上述目的，本实用新型提供一种滤网板，其特征在于：所述滤网板由耐高温且绝缘的材料制成，其上表面为光滑面，下表面为粗糙面，所述滤网板上还设有多个通透的滤网孔。 

所述的滤网板，其中：所述滤网孔的孔径由上至下减缩，使所述滤网孔具有上表面与下表面，所述滤网孔的上表面也为光滑面，所述滤网孔的下表面也为粗糙面。 

所述的滤网板，其中：所述滤网孔为漏斗状。 

所述的滤网板，其中：所述滤网孔的深度为5-20mm。 

所述的滤网板，其中：所述滤网孔的上孔径为5-10mm，下孔径为0.3～0.6mmmm，相邻滤网孔的中心线距离为10-15mm。 

所述的滤网板，其中： 

所述光滑面的粗糙度Ra介于1.0～1.5微米之间，所述粗糙面的粗糙度Ra介于50～300微米之间。 

所述的滤网板，其中：所述滤网板由Al₂O₃、Y₂O₃或陶瓷材料制成，或者由Al₂O₃与Y₂O₃分别作为滤网板的上表面材料与下表面材料复合制成，或者由Al₂O₃与陶瓷分别作为滤网板的上表面材料与下表面材料复合制成，或者由陶瓷与Y₂O₃分别作为滤网板的上表面材料与下表面材料复合制成。 

为实现上述目的，本实用新型还提供一种应用上述滤网板来降低腔室内污染物的真空设备，所述真空设备具有真空腔室，其特征在于：所述真空腔室内设有所述滤网板。 

所述的应用滤网板来降低腔室内污染物的真空设备，其中：所述滤网板设有固定部，并通过所述固定部固定在所述的真空腔室内。 

与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于：本实用新型的光滑面使污染物及副产物容易滑落，而粗糙面可以使污染物及副产物很牢固的吸附在上面。这样真空腔室内的悬浮污染物会大大减少，并且在设备保养时只需清洁滤网，这样也减少了对设备保养的复杂程度。 

附图说明

图1为本实用新型的滤网板的平面示意图； 

图2为本实用新型的滤网板的孔剖面示意图； 

图3为一般真空腔室的剖面结构示意图； 

图4为加入滤网板后的真空腔室剖面示意图。 

具体实施方式

如图1、图2所示，本实用新型提供的滤网板1，整体厚度h为5-20mm，优选为平板状，也可以为弧形板状，设计形状及大小要适合腔室内部结构，所述滤网板1上还设有多个通透的滤网孔10。为了便于固定，所述滤网板1还可以设有固定部，如卡箍11、支架、螺孔、挂钩等等。 

如图2所示，所述滤网孔10优选采用由上至下孔径减缩的结构形式，例如漏斗状，孔深也为h，介于5-20mm之间。并且，所述滤网板1的上表面12（包括所述滤网孔10的上表面101以及滤网孔10相邻部分的上表面）为光滑面， 其粗糙度Ra介于1.0～1.5微米之间；而所述滤网板1的下表面13（包括所述滤网孔10的下表面102以及滤网孔10相邻部分的下表面）为粗糙面，其粗糙度Ra介于50～300微米之间。