[实用新型]滤网板及应用该滤网板来降低腔室内污染物的真空设备

权利要求书

1.一种滤网板，其特征在于：所述滤网板由耐高温且绝缘的材料制成，其上表面为光滑面，下表面为粗糙面，所述滤网板上还设有多个通透的滤网孔。 

2.根据权利要求1所述的滤网板，其特征在于：所述滤网孔的孔径由上至下减缩，使所述滤网孔具有上表面与下表面，所述滤网孔的上表面也为光滑面，所述滤网孔的下表面也为粗糙面。 

3.根据权利要求2所述的滤网板，其特征在于：所述滤网孔为漏斗状。 

4.根据权利要求2所述的滤网板，其特征在于：所述滤网孔的深度为5-20mm。 

5.根据权利要求2所述的滤网板，其特征在于：所述滤网孔的上孔径为5-10mm，下孔径为0.3～0.6mm，相邻滤网孔的中心线距离为10-15mm。 

6.根据权利要求1所述的滤网板，其特征在于：所述光滑面的粗糙度Ra介于1.0～1.5微米之间，所述粗糙面的粗糙度Ra介于50～300微米之间。 

7.根据权利要求2所述的滤网板，其特征在于：所述光滑面的粗糙度Ra介于1.0～1.5微米之间，所述粗糙面的粗糙度Ra介于50～300微米之间。 

8.根据权利要求1所述的滤网板，其特征在于：所述滤网板由Al₂O₃、Y₂O₃或陶瓷材料制成，或者由Al₂O₃与Y₂O₃分别作为滤网板的上表面材料与下表面材料复合制成，或者由Al₂O₃与陶瓷分别作为滤网板的上表面材料与下表面材料复合制成，或者由陶瓷与Y₂O₃分别作为滤网板的上表面材料与下表面材料复合制成。 

9.一种应用如权利要求1-8中任一种滤网板来降低腔室内污染物的真空设备，所述真空设备具有真空腔室，其特征在于：所述真空腔室内设有所述滤网板。 

10.根据权利要求9所述的应用滤网板来降低腔室内污染物的真空设备，其特征在于：所述滤网板设有固定部，并通过所述固定部固定在所述的真空腔室内。