[实用新型]陶瓷膜片真空吸附剥离板有效

专利信息
申请号: 201220691918.1 申请日: 2012-12-14
公开(公告)号: CN203038789U 公开(公告)日: 2013-07-03
发明(设计)人: 白宝柱;初殿生;向勇;王松明;周立坡;张本平 申请(专利权)人: 深圳市宇阳科技发展有限公司
主分类号: H01G13/00 分类号: H01G13/00;H01G4/30
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 代理人: 刘文求;杨宏
地址: 518057 广东省深圳市南山区高新北区朗山二*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 陶瓷 膜片 真空 吸附 剥离
【权利要求书】:

1.一种陶瓷膜片真空吸附剥离板,其特征在于,包括一剥离板本体,所述剥离板本体包括用于吸附陶瓷膜片的上层和用于接触抽真空装置的下层;所述上层和下层一体设置;所述下层上设置有多个贯穿所述下层的第一通孔;在所述上层上对应第一通孔的位置处设置有至少一个贯穿所述上层的第二通孔;所述第二通孔连通第一通孔,且所述第一通孔的孔径大于第二通孔的孔径。

2.根据权利要求1所述的陶瓷膜片真空吸附剥离板,其特征在于,所述上层上对应第一通孔的位置处设置有三个贯穿所述上层的第二通孔;该三个第二通孔均连通第一通孔。

3.根据权利要求1所述的陶瓷膜片真空吸附剥离板,其特征在于,所述上层的外围区域的第二通孔的孔径大于所述上层的内部区域的第二通孔的孔径。

4.根据权利要求1所述的陶瓷膜片真空吸附剥离板,其特征在于,所述上层的外围区域的多个第二通孔之间的孔距小于所述上层的内部区域的多个第二通孔之间的孔距。

5.根据权利要求1所述的陶瓷膜片真空吸附剥离板,其特征在于,在所述剥离板本体上还设置有多个用于固定所述剥离板的螺丝孔。

6.根据权利要求1所述的陶瓷膜片真空吸附剥离板,其特征在于,所述第一通孔的孔径为5-10mm。

7.根据权利要求1所述的陶瓷膜片真空吸附剥离板,其特征在于,所述第二通孔的孔径为0.5-5mm。

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