[实用新型]组合式晶圆盒

权利要求书

1.一种组合式晶圆盒，其特征在于，所述组合式晶圆盒至少包括：一盒盖以及与该盒盖配合连接形成收容腔的盒底；所述盒底下表面设有第一连接件以及至少一个卡槽，所述盒盖上表面设有与所述第一连接件相配合的第二连接件以及与所述卡槽相配合的至少一个卡齿；或者所述盒盖上表面设第一连接件以及至少一个卡槽，所述盒底下表面设有与所述第一连接件相配合的第二连接件以及与所述卡槽相配合的至少一个卡齿。

2.根据权利要求1所述的组合式晶圆盒，其特征在于：所述卡槽的横截面为圆环。

3.根据权利要求1所述的组合式晶圆盒，其特征在于：所述卡槽的数量为至少两个，各该卡槽之间分隔开，但均位于同一个圆的圆周上。

4.根据权利要求2或3所述的组合式晶圆盒，其特征在于：所述卡齿的横截面为一圆环。

5.根据权利要求2或3所述的组合式晶圆盒，其特征在于：所述卡齿的数量为至少两个，各该卡齿为弧形，且弧度一致。

6.根据权利要求1所述的组合式晶圆盒，其特征在于：所述卡槽由两个垂直于所述盒底的侧墙形成。

7.根据权利要求6所述的组合式晶圆盒，其特征在于：所述两个侧墙顶端相向弯折设有相对的侧翼。

8.根据权利要求1所述的组合式晶圆盒，其特征在于：所述盒盖与盒底的横截面为多边形或圆形。

9.根据权利要求1所述的组合式晶圆盒，其特征在于：所述第一连接件为螺栓，所述第二连接件为与所述螺栓相配合的螺孔；或者所述第一连接件为螺孔，所述第二连接件为与所述螺孔相配合的螺栓。