[实用新型]旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构有效
申请号: | 201220647320.2 | 申请日: | 2012-11-29 |
公开(公告)号: | CN202968687U | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 朱建明 | 申请(专利权)人: | 肇庆市科润真空设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 52606*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋转 连续 镀膜 装置 装卸 机构 | ||
1.旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,设于工件输送带与真空镀膜装置之间,其特征在于,包括旋转轴、旋转气缸、旋转臂、升降气缸和吸盘组件,旋转轴竖直设置,旋转气缸设于旋转轴底部,旋转臂水平设于旋转轴顶部,旋转臂两端分别设置升降气缸,各升降气缸的输出端分别与吸盘组件连接。
2.根据权利要求1所述旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,其特征在于,所述吸盘组件包括工件转换盖板和真空吸盘,工件转换盖板固定于升降气缸的输出端,工件转换盖板上开有通孔,通孔处安装真空吸盘。
3.根据权利要求2所述旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,其特征在于,位于所述旋转臂一端的吸盘组件设于工件输送带的装卸工位上方,位于旋转臂另一端的吸盘组件设于真空镀膜装置的预抽真空室上方。
4.根据权利要求3所述旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,其特征在于,所述工件转换盖板为圆形的板状结构,工件转换盖板的直径大于预抽真空室的直径。
5.根据权利要求2所述旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,其特征在于,所述工件转换盖板上安装有1个或多个真空吸盘。
6.根据权利要求1所述旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,其特征在于,所述旋转臂为长方形的板状结构,旋转臂中心与旋转轴连接,旋转臂两端分别与升降气缸固定连接。
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