[实用新型]旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构有效

专利信息
申请号: 201220647320.2 申请日: 2012-11-29
公开(公告)号: CN202968687U 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 朱建明 申请(专利权)人: 肇庆市科润真空设备有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C16/54
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 裘晖
地址: 52606*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 旋转 连续 镀膜 装置 装卸 机构
【权利要求书】:

1.旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,设于工件输送带与真空镀膜装置之间,其特征在于,包括旋转轴、旋转气缸、旋转臂、升降气缸和吸盘组件,旋转轴竖直设置,旋转气缸设于旋转轴底部,旋转臂水平设于旋转轴顶部,旋转臂两端分别设置升降气缸,各升降气缸的输出端分别与吸盘组件连接。

2.根据权利要求1所述旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,其特征在于,所述吸盘组件包括工件转换盖板和真空吸盘,工件转换盖板固定于升降气缸的输出端,工件转换盖板上开有通孔,通孔处安装真空吸盘。

3.根据权利要求2所述旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,其特征在于,位于所述旋转臂一端的吸盘组件设于工件输送带的装卸工位上方,位于旋转臂另一端的吸盘组件设于真空镀膜装置的预抽真空室上方。

4.根据权利要求3所述旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,其特征在于,所述工件转换盖板为圆形的板状结构,工件转换盖板的直径大于预抽真空室的直径。

5.根据权利要求2所述旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,其特征在于,所述工件转换盖板上安装有1个或多个真空吸盘。

6.根据权利要求1所述旋转式连续镀膜装置用的装卸片机构,其特征在于,所述旋转臂为长方形的板状结构,旋转臂中心与旋转轴连接,旋转臂两端分别与升降气缸固定连接。

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