[实用新型]一种单晶截断机及其夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，更具体的说是涉及一种单晶截断机及其夹具。

背景技术

生产单晶硅的方法通常是用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅，单晶硅棒的截面为圆形。为了方便满足生产过程中硅片的外形、尺寸，需要截断单晶硅棒，单晶硅棒截断是生产半导体器件前期工序中不可缺少的一道步骤。目前，截断单晶硅棒的是切割单晶硅棒的专用设备——单晶截断机。

现在市场上的单晶硅棒截断机一般包括底座、传动轴部件、刀具以及单晶硅棒夹具，其中底座上设有用于放置单晶硅棒的工作台面，夹具设置在工作台面上。现有的单晶硅棒夹具的两个挡板是类似U槽形的，如图1所示，当单晶截断机工作时，两个夹具11、12置于工作台13上，并与单晶硅棒14相切，固定住单晶硅棒用于切割。

然而现在单晶硅片成本较高，导致单晶硅片需求量下降，使单晶截断机出现大量的闲置和长期待机现象。随着信息技术和太阳能产业的飞速发展，全球对多晶硅的需求增长迅猛，市场供不应求。因此，市场上需要更多的是能够截断多晶硅块的截断机，而专门生产用于截断多晶硅块的截断机将会增大生产成本。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种单晶截断机及其夹具，对现有的单晶截断机夹具进行改进，使其可以截断多晶硅块，以解决现有技术中单晶截断机大量闲置导致的机台长期待机的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶截断机夹具，具有相互对称的第一夹具本体和第二夹具本体，所述单晶截断机夹具还包括夹板，所述夹板包括固定连接的底托平板和切割挡板；

所述底托平板与切割挡板相互垂直；

所述底托平板下表面紧贴工作台的工作面，所述切割挡板紧贴第一夹具本体的夹面，所述第一夹具本体靠近硅块切割过程中，刀具最后接触的硅块表面。

优选地，所述底托平板与所述切割挡板相接部分的长度相同。

优选地，所述两个夹具本体的下表面紧贴工作台的工作面。

优选地，所述夹板的材料为铁。

一种单晶截断机，用于截断多晶硅块，所述单晶截断机包括上述的单晶截断机夹具。

由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型提供了一种单晶截断机夹具，该夹具在原有的单晶截断机的夹具本体中间增加了一个夹板，使得之前夹圆柱形单晶硅棒的其中一个夹面由曲面变成平面，从而可以固定截面为矩形的多晶硅块，即将单晶截断机夹具改进为可以夹多晶硅块的夹具，而且夹板形状简单，生产成本低，容易实现上述改进，同时，可以大量生产，便于制备。

同时，本实用新型提供了一种单晶截断机，其夹具包括夹具本体和夹板，该单晶截断机夹具的改进能够固定多晶硅块，使改进后的单晶截断机截断多晶硅块，从而改变了单晶截断机台大量闲置导致的机台长期待机的现状，同时避免了专门生产截断多晶硅块的截断机，大大节省了生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为现有技术中的单晶截断机夹具示意图；

图2为本实用新型的核心思想示意图；

图3为本实用新型提供的一种单晶截断机夹具固定多晶硅块的示意图。

具体实施方式

正如背景技术部分所述，单晶硅的市场需求降低，相应的导致单晶截断机大量闲置，造成机台长期待机，而市场上多晶硅的需求量越来越大，可截断多晶硅块的截断机需求量也越来越大，发明人在长期实践中发现，出现这种情况的原因是单晶截断机只能相对稳定的固定住截面为圆形的单晶硅棒，而不能稳定地固定住截面为矩形的多晶硅块，从而导致单晶截断机不能用于截断多晶硅块，而专门生产多晶硅块截断机，必然会增大生产成本。