[实用新型]ESD保护网络电路有效
申请号: | 201220605826.7 | 申请日: | 2012-11-16 |
公开(公告)号: | CN202917963U | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 马和良 | 申请(专利权)人: | 上海华虹集成电路有限责任公司 |
主分类号: | H02H9/00 | 分类号: | H02H9/00;H02H9/04 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 戴广志 |
地址: | 201203 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | esd 保护 网络 电路 | ||
技术领域
本发明涉及ESD(静电放电)保护领域,特别是涉及一种集成电路中ESD保护网络电路。
背景技术
近些年随着集成电路工艺的快速发展,MOS管的线宽越来越窄,结深越来越浅,栅氧层的厚度也越来越薄,这些都加速了电路设计对ESD的需求。当线宽为1μm时,ESD事件对电路的影响很小,当进入0.18μm、0.13μm时代,尤其是90纳米以下时代,ESD成为了刻不容缓的问题。在实际的生产和应用中,也存在大量因ESD原因失效的样品。因此增强芯片的ESD性能是需要的。
通用的ESD分为HBM(Human body model人体模式)模式,MM(machine model机器模式)模式和CDM(Charged device model带电模式)模式。HBM和MM模式是外部对芯片进行放电,仅仅依靠输入输出端口的ESD保护电路是远远不够的,还需要在电源和地之间加ESD保护电路(电源钳位ESD电路),从而能够更加快速的泄放电流,以保证整个芯片的ESD性能。
参见图1所示,现有的ESD保护电路中,每个输入/输出焊盘(I/O pad)处有上拉和下拉二极管保护电路,如图1中分别由PMOS晶体管M1和NMOS晶体管M2,PMOS晶体管M3和NMOS晶体管M4,PMOS晶体管M5和NMOS晶体管M6组成的上拉和下拉二极管保护电路;在电源电压VDD和地GND之间会有一个或者多个电源钳位结构的ESD保护电路(电源钳位ESD电路),如图1中由PMOS晶体管M5、NMOS晶体管M6、电阻R1、电容C1、反相器INV1和泄流管M7(NMOS晶体管)组成的电源钳位ESD电路。当发生ESD事件时(即检测到ESD脉冲),一小部分ESD电流从上拉或者下拉二极管流出,另外大部分电流通过电源钳位ESD电路泄放,从而起到ESD保护作用。
芯片的ESD性能与电源钳位ESD电路关系很大,电源钳位ESD电路个数越多,ESD性能就会越好;电源钳位ESD电路中泄放管的尺寸越大,ESD性能也越好;由于发生ESD事件时,电流都是安培量级的,电源钳位ESD电路中泄放管的尺寸都较大,电源钳位ESD电路中的电阻和电容也都具有很大的尺寸;电源钳位ESD电路数量增加,必然会导致芯片面积增加。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种ESD保护网络电路,能够在基本不增加芯片面积的基础上有效提高芯片的ESD性能。
为解决上述技术问题,本实用新型的ESD保护网络电路,包括:多个电源钳位ESD电路,在每个I/O pad处设置一个电源钳位ESD电路。
本实用新型的ESD保护网络电路从整体布局,能够更快的泄放ESD电流,形成一个较好的ESD防护网络,在不额外牺牲芯片面积的情况下,能最大限度的提高芯片ESD性能。
附图说明
下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明:
图1是现有的ESD保护电路原理图;
图2是所述ESD保护网络电路原理图。
具体实施方式
参见图2所示,所述ESD保护网络电路,包括三个电源钳位ESD电路和一检测电路。电源钳位ESD电路的个数取决于芯片的实际焊盘(pad)数量,在本实施例中,以3个电源钳位ESD电路为例进行说明。
每个电源钳位ESD电路的结构都是一样的。在每个I/O pad处设置一个电源钳位ESD电路。
第一电源钳位ESD电路包括PMOS管M8,NMOS管M9,第二反相器INV2,电容C2,NMOS管M10。PMOS管M8的栅极和源极与电源电压VDD相连接,形成上拉二极管,其漏极与NMOS管M9的漏极相连接;NMOS管M9的栅极和源极与地GND相连接,形成下拉二极管。
第二反相器INV2是驱动电路,其输入端与电容C2的一端相连接,其输出端与NMOS管M10的栅极相连接;NMOS管M10的漏极与电源电压VDD相连接;NMOS管M10的源极和电容C2的另一端接地GND。
第二电源钳位ESD电路包括PMOS管M11,NMOS管M12,第三反相器INV3,电容C3,NMOS管M13。
第三电源钳位ESD电路包括PMOS管M14,NMOS管M15,第四反相器INV4,电容C4,NMOS管M16。
第二电源钳位ESD电路和第三电源钳位ESD电路的结构与第一电源钳位ESD电路结构相同,在此不再赘述。
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