[实用新型]一种进气歧管压力传感器

权利要求书

1.一种进气歧管压力传感器，包括壳体、基板、压力感应芯片和专用集成电路芯片，所述基板放置于所述壳体内；所述压力感应芯片和所述专用集成电路芯片均放置于所述基板上，所述压力感应芯片用于将压力变化转换成电容变化；所述专用集成电路芯片的信号输入端与所述压力感应芯片输出端相连接，用于测量压力感应芯片的电容变化量，并将测量结果转换为数字信号输出，同时也提供与外接电路的接口。

2.根据权利要求1所述的进气歧管压力传感器，其特征在于，所述压力感应芯片包括硅应变膜和真空腔体，通过外界气压在所述硅应变膜表面形成的上下压力差，使得硅应变膜上的两极板间距发声变化，进而将压力变化转换成电容变化。

3.根据权利要求1所述的进气歧管压力传感器，其特征在于，所述基板为陶瓷基板或印刷线路板，所述基板上面设有用于内部互连的线路以及焊盘。

4.根据权利要求3所述的进气歧管压力传感器，其特征在于，所述焊盘用于提供与外接电路连接的输入/输出端口。

5.根据权利要求1所述的进气歧管压力传感器，其特征在于，还包括引线，用于传输电信号。

6.根据权利要求1所述的进气歧管压力传感器，其特征在于，还包括装片胶，用于固定所述压力感应芯片和所述专用集成电路芯片。