[实用新型]一种硅料清洗装置组有效
申请号: | 201220542400.1 | 申请日: | 2012-10-23 |
公开(公告)号: | CN202845382U | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 张凌松 | 申请(专利权)人: | 宿迁宇龙光电科技有限公司 |
主分类号: | B08B7/04 | 分类号: | B08B7/04 |
代理公司: | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人: | 谢观素 |
地址: | 223700 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 清洗 装置 | ||
1.一种硅料清洗装置组,其特征在于:包括冲淋清洗机(1),所述冲淋清洗机(1)的四周分别设有酸性清洗机(2)、酸性浸泡机(3)、碱性清洗机(4)和超声清洗机(5)。
2.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述酸性清洗机(2)位于酸性浸泡机(3)的对面,所述碱性清洗机(4)位于超声清洗机(5)的对面。
3.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述冲淋清洗机(1)的型号为SGPR-05硅料清洗机。
4.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述酸性清洗机(2)的型号为SGPR-04硅料酸洗机。
5.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述酸性浸泡机(3)的型号为SGPR-05硅料浸泡机。
6.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述碱性清洗机(4)的型号为SGSR-04硅料碱洗机。
7.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述超声清洗机(5)的型号为SGR28-05手动硅料清洗机。
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