[实用新型]一种硅料清洗装置组有效

专利信息
申请号: 201220542400.1 申请日: 2012-10-23
公开(公告)号: CN202845382U 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 张凌松 申请(专利权)人: 宿迁宇龙光电科技有限公司
主分类号: B08B7/04 分类号: B08B7/04
代理公司: 淮安市科文知识产权事务所 32223 代理人: 谢观素
地址: 223700 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 清洗 装置
【权利要求书】:

1.一种硅料清洗装置组,其特征在于:包括冲淋清洗机(1),所述冲淋清洗机(1)的四周分别设有酸性清洗机(2)、酸性浸泡机(3)、碱性清洗机(4)和超声清洗机(5)。

2.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述酸性清洗机(2)位于酸性浸泡机(3)的对面,所述碱性清洗机(4)位于超声清洗机(5)的对面。

3.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述冲淋清洗机(1)的型号为SGPR-05硅料清洗机。

4.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述酸性清洗机(2)的型号为SGPR-04硅料酸洗机。

5.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述酸性浸泡机(3)的型号为SGPR-05硅料浸泡机。

6.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述碱性清洗机(4)的型号为SGSR-04硅料碱洗机。

7.如权利要求1所述的一种硅料清洗装置组,其特征在于:所述超声清洗机(5)的型号为SGR28-05手动硅料清洗机。

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