[实用新型]定位测量仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种定位测量仪。

背景技术

半导体的制造工艺都是在洁净房内完成的，因为半导体制造工艺的特殊要求，对于洁净房也有特殊的要求。为了保证洁净房能够满足半导体制造工艺的要求，必须定期对洁净房的温度、湿度以及空气流速进行定期监控。

通常洁净房一般采用垂直送风，由安装在天花板上的风机滤器单元（FanFilter Units，FFU）将洁净的空气通入洁净房，空气自上向下通入洁净房的镂空地板，以便通过垂直送风将尘埃粒子自上而下的排出。垂直送风的送风量直接反应洁净房内的空气流通速度，通常送风量由出风口附近的空气流速来表征。而且，整个洁净房内温度和湿度也区别于出风口的温度和湿度。因此对洁净房的环境监控是通过对出风口处的温度、湿度和空气流速的监控来完成的。而半导体制造的洁净房的空间非常大，为了监控整个洁净房的温度、湿度以及空气流速，通常由工作人员手工携带测量仪器到各个测量点的出风口处进行手工测量，出风口处通常处于天花板附近。

为了便于长期监控出风口处的温度、湿度以及空气流速，通常将出风口处定义为距离天花板30cm的位置。如图1所示，地板到天花板的距离通常为400cm，每次测量时，工作人员都要用一个测量杆10，将测量仪器20固定于所述测量杆10的顶部，然后由工作人员将测量杆10举起，靠人眼目测使其顶部尽可能的位于离天花板30cm的位置，然后开始进行测量，每次测量要维持15分钟。

采用上述方法进行测量，因为测量杆是靠人力举起并目测维持在离天花板30cm的位置，而且还要维持15分钟。这样的测量方式，很难做到在整个测量过程中，测量仪器始终处于同一位置，更无法确定这一位置距离天花板就是30cm，当然也无法确定每次测量测量仪器都在同一位置。上述测量位置的不确定，导致最后的测量值与确定位置的实际值偏差很大，无法起到对洁净房环境的监控作用。另外，上述方法大部分动作都是由人力完成，而且至少需要两个工作人员的配合才能完成上述测量，为此要消耗的人力成本也比较高。

实用新型内容

本实用新型提供一种定位测量仪，达到准确定位测量位置的目的，以解决上述测量位置不确定，测量值与目标位置的实际值偏差大的问题。

本实用新型的另一目的在于，减少测量的工作人员数量，降低人力成本。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种定位测量仪，包括一测量长杆，所述定位测量仪还包括测距仪和固定抓，所述测量长杆为自由伸缩测量长杆，所述测距仪和固定抓设置于所述测量长杆的一端。

可选的，所述固定抓为两个，分别用于固定流速测量仪和温湿度测量仪。

可选的，所述两个固定抓位于所述测量长杆的同一高度处。

可选的，所述测距仪为红外测距仪。

可选的，所述定位测量仪还包括驱动模块和处理模块，所述处理模块分别与所述测距仪和驱动模块连接。

可选的，所述定位测量仪还包括一手推车，所述测量长杆位于所述手推车上

可选的，所述测量长杆固定于所述手推车的一个侧棱。

可选的，所述驱动模块和处理模块放置于所述手推车上。

本实用新型所采用的定位测量仪包括一测量长杆，所述测量长杆为自由伸缩测量长杆；所述测量长杆顶部设置一测距仪；在所述测量长杆位于所述测距仪下方设置至少一个固定抓。所述测距仪可以自动测量其与天花板的实际距离，并将测量数值与事先设定的目标数值进行比较，所述测量长杆根据比较结果进行相应的伸缩，使测距仪到达并固定于目标位置，这时位于所述固定抓内测量仪器就可以开始相关测量。上述测量方式，测量仪器每次测量都位于同一目标位置，而且测量过程中，测量仪器也始终处于固定的位置，达到了准确定位测量位置的目的，从而减小了测量值与目标位置实际值的偏差。

另外，将测量长杆固定于一手推车上，可以将有关测量使用的设备都放置于手推车上，利用手推车便于移动的特性，使一个工作人员就可以完成上述测量工作，减少了测量的工作人员数量，降低人力成本。

附图说明

图1为现有技术中的测量长杆及测量示意图；

图2为本实用新型实施例一中的定位测量仪的示意图；

图3为本实用新型实施例二中的定位测量仪的示意图。

具体实施方式