[实用新型]一种晶体硅\非晶硅双节双面电池有效
申请号: | 201220507911.X | 申请日: | 2012-09-27 |
公开(公告)号: | CN202977494U | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 高艳涛;姜庆堂;邢国强;陶龙忠;张斌;何恬 | 申请(专利权)人: | 奥特斯维能源(太仓)有限公司 |
主分类号: | H01L31/0687 | 分类号: | H01L31/0687;H01L31/0376 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 215434 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体 非晶硅双节 双面 电池 | ||
技术领域
本实用新型属于光伏领域,具体涉及一种太阳能电池结构。
背景技术
目前,与国外先进电池制备技术相比,我国晶硅太阳电池制备技术还是相对落后,基本流程由在P型硅片上以制绒、扩散、刻蚀、沉积减反膜、丝网印刷方法制造太阳电池。
2010年以来,太阳电池片的销售从卖方市场到买方市场,政务补贴大幅削减,使得电池片得制造商努力降低自己的生产成本,而提高电池片的效率就是有效的途径,不仅降低了每瓦的生产成本,并且销售得市场更大;目前高效电池的研发集中在背面钝化,细栅印刷,双面电池等,这些电池的制备和传统电池的制备工艺兼容和接近,都是单节电池,不能充分的利用太阳电池的光谱,效率的提高受到了限制。
实用新型内容
实用新型目的:是针对现有技术存在的不足,提供一种晶体硅/非晶硅双节双面电池。
技术方案:为实现上述目的,本实用新型提供了一种晶体硅/非晶硅双节电池,包括: N型硅衬底、非晶硅I层、微晶硅P层、非晶硅N层、微晶硅N层、非晶硅本征层、非晶硅P层、透明导电电极、电池的正极和电池的负极;所述电池从上而下依次为:电池的正极、透明导电电极、非晶硅P层、非晶硅本征层、微晶硅N层、微晶硅P层、非晶硅I层、N型硅衬底、非晶硅I层、非晶硅N层、透明导电电极、电池的负极。
本实用新型在N型半导体的前后表面制备非晶硅 I层,背表面制备非晶硅N层,前表面制备微晶硅P 层,形成叠成电池的下电池-异质结电池;同时下电池的微晶硅P和上电池的微晶硅N形成良好的隧穿节;此叠成电池的上电池是NIP结构的非晶硅电池;并且双面制备透明导电极和银电极。
本实用新型所述的一种晶体硅/非晶硅双节电池的制造方法,具体步骤如下
(1)对N型单晶硅半导体衬底表面绒面化并进行化学清洗;
表面绒面化的目的是增加太阳光在表面的折射次数,增加光线在硅衬底中的光程,提高太阳光的利用率。单晶硅半导体通常在在碱溶液(如氢氧化钠溶液和氢氧化钾溶液)进行表面绒面化,是形成由金字塔形状的绒面。同时绒面给前薄膜PIN电池提供内反射,提高薄膜电池的电流密度;
化学清洗,化学清洗一般在稀盐酸和氢氟酸中进行,目的是去除表面的杂质,为后面的沉积本征非晶硅提供准备;
(2)在N型硅衬底两面沉积非晶硅I层;
非晶硅I层的主要作用是钝化N型晶体硅的表面;
(3)沉积非晶硅N层;
在N型硅衬底的下表面沉积非晶硅N层,主要作用是形成异质结,同时非晶硅致密度高,可以保护电池的内部不受水气的影响;
(4)沉积微晶硅P层;
在N型硅衬底的上面沉积微晶硅P层,主要作用是形成异质结,同时微晶硅P和后来的微晶硅N形成良好的隧穿节,有利于载流子的通过;
(5)沉积前电池的微晶硅N层;
在微晶硅P层上沉积前电池的微晶硅N层,一方面它是前电池的构成部分,另一方面是和前面的微晶硅P形成良好的隧穿节,有利于载流子的通过;
(6)沉积前电池的本征非晶硅I层;
在微晶硅N的上面采用PECVD的方法沉积前电池的非晶硅I层,它是前电池有源层;
(7)沉积前电池的非晶硅P层;
在非晶硅的I 层的沉积非晶硅P层,它是前电池的正极;
(8)双面制备透明导电电极;
透明导电池可以采用溅射或者金属氧化物化学沉积(MOCVD)的方法制备,主要作用是收集电池的载流子;
(9)制备银电极;
银电极的主要作用是把太阳电池的电流收集起来,导出电池。
本实用新型中N型硅片的电阻率为:0.3 ?cm -6 ?cm ;沉积在N型硅片上的非晶硅I层的厚度为:5-30nm;非晶硅N和微晶硅的厚度为10nm-30nm;微晶硅的N的光敏性为1-10,电导率为1-10S/cm;微晶硅P光敏性为1-10,电导率在0.1-10S/cm;非晶硅I层的光敏性约为105;前电池(非晶硅PIN电池)的I层的厚度在300nm-2000nm。
有益效果:本实用新型所述的一种晶体硅/非晶硅双节电池,具有以下优点:
1. 本实用新型充分利用太阳的光谱,同时可以利用电池背面反射回来的光发电,制备出了高效的太阳电池;
2.本实用新型所述制造方法的整个过程中无高温过程,最大限度的提高晶体硅的有效少子寿命,提高电池的转化效率;
3.本实用新型所述方法整个制造过程采用薄膜电池的制备工艺和设备,制造成本较低。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的