[实用新型]一种区熔单晶炉的传动装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及传动装置技术领域，尤其涉及一种区熔单晶炉的传动装置。

背景技术

传统的区熔单晶炉主要用于生产硅半导体材料，区熔单晶炉主要包括硅半导体材料生长合成的主炉室、主轴升降传动结构以及电控自动系统。其中，单晶炉中的主轴升降传动结构包括顶板和底板，顶板和底板之间设有呈矩形排布的四个导柱，每个导柱的两端分别固定在顶板和底板上，两侧每两个导柱之间设有丝杆，丝杆的一端轴接在顶板上、另一端穿过底板后与减速箱的输出轴连接，减速箱的输入轴与电机连接，且丝杆上丝杆螺母连接有与四个所述导柱滑动配合的滑座，滑座的中心部设有主轴。

但是在实际的情况中，操作人员很难保证导柱上下位置的精度，而且导柱的自身长度较长，因此可能降低导柱的刚性，这样可能导致四个导柱之间出现相互不平行的状况，使得滑座在导柱上运动时产生较大的阻力，降低滑座运动的稳定性，并同时产生较大的振动，这样使滑座上的主轴产生晃动，而硅熔液在熔区处于悬浮状态，主轴的晃动会引起拉晶液面产生抖动，从而在拉制区熔单晶过程中出现温度扰动，发生单晶回熔现象，进而导致单晶晶变或造成单晶断包，较大程度地降低区熔单晶的成品率。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种区熔单晶炉的传动装置，能够使传动装置中主轴运动比较平稳。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种区熔单晶炉的传动装置，包括顶板和底板，所述顶板和所述底板之间设有呈矩形排布的四个导柱，所述导柱之间设有丝杆，所述丝杆的一端轴接在所述顶板上、另一端穿过所述底板后与减速箱的输出轴连接，所述减速箱的输入轴与电机连接，所述丝杆上的丝杆螺母固定连接有与所述四个导柱滑动配合的滑座，所述滑座的中心部上设有主轴，所述导柱的一端固定在所述顶板上、另一端固定在导柱压盖上，所述导柱压盖固定在所述底板上；所述导柱的上端固定在所述顶板上、下端连接在所述底板上，且所述导柱的下端与所述底板的连接位置可调。

进一步地，所述导柱的下端固定在导柱压盖上，所述导柱压盖固定在所述底板上；所述导柱压盖固定在所述底板之前，所述导柱压盖带动所述导柱可沿所述导柱的径向移动。

其中，所述导柱压盖通过锁紧螺母固定在所述底板上。

其中，所述导柱的上端通过锁紧螺母固定在所述顶板上、下端通过锁紧螺母固定在所述导柱压盖上；或所述导柱的上端焊接在所述顶板上、下端焊接在所述导柱压盖上。

进一步地，相邻所述导柱之间设有所述丝杆；或每两个所述导柱之间设有所述丝杠。

此外，所述减速箱与所述底板之间设有间隙。

本实用新型实施例提供的区熔单晶炉的传动装置，包括顶板和底板，所述顶板和所述底板之间设有呈矩形排布的四个导柱，所述导柱之间设有丝杆，所述丝杆的一端轴接在所述顶板上、另一端穿过所述底板后与减速箱的输出轴连接，所述减速箱的输入轴与电机连接，所述丝杆上的丝杆螺母固定连接有与所述四个导柱滑动配合的滑座，所述滑座的中心部上设有主轴，所述导柱的上端固定在所述顶板上、下端连接在所述底板上，由于所述导柱的下端与所述底板的连接位置可调，即可以使所述导柱在所述底板上径向移动，因此可以使所述导柱与所述底板之间的径向间隙消除，减小导柱的径向跳动，进一步可以提高所述导柱上下位置的精度，使得所述导柱的刚性提高，进而可以使得滑座运动的稳定性提高，从而可以使主轴的运动比较平稳，因此拉晶时悬浮区熔液面产生的抖动比较小，使得在区熔单晶拉制过程中不容易造成断包，提高产品的成品率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例或描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供方的区熔单晶炉的传动装置的主视图；

图2为本实用新型实施例提供方的区熔单晶炉的传动装置的俯视图。

附图标记：

1-主轴，2-顶板，3-导柱，4-滑座。5-丝杆螺母，6-底板，7-丝杆，8-减速箱，9-导柱压盖，10-锁紧螺母

具体实施方式