[实用新型]一种测试探针及测试设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及用于液晶显示器的测试技术，尤其涉及一种测试探针及测试设备。

背景技术

目前，用于测试液晶显示器半导体特性的测试设备，基本上是采用将测试探针直接放置到对应信号探测导接点上的方法，所述测试探针在施加驱动电压的同时探测相应电流的通过情况，最终得到电压电流关系，进而得出所需的半导体特性。

如图1所示，现有测试TFT等半导体结构特性的测试设备一般采用普通测试探针，在测试时，使用手动或者自动的方式使测试探针抵压用于导入探测信号的导接点，从而实现电性接触。在测试过程中，测试探针和待测物接触的程度及压力大小无法控制，接触电阻的大小也就无从得知，而对于接触性的电学测试而言，接触电阻会因为接触压力的不同而有非常大的差异。因此，半导体特性测试结果一般都会有波动；而且不同的测试设备之间数据也有差异，因而导致了测试的精确度被大大降低。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种测试探针及测试设备，能获取压力参数及其对应的电参数，从而提高了测试的精确度和可控性。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种测试探针，包括：施力件、固定于施力件上的压力传感器、固定于压力传感器上的压力传导装置、固定于压力传导装置上的探针本体。

其中，所述压力传导装置为弹性件。

一种测试设备，包括：电参数测试装置本体、测试探针和数据处理器；

所述测试探针包括施力件、固定于施力件上的压力传感器、固定于压力传感器上的压力传导装置和固定于压力传导装置上的探针本体；

所述探针本体与电参数测试装置本体连接，所述数据处理器与所述电参数测试装置本体及所述压力传感器连接，用于同步获取并记录电参数测试装置本体测得的电参数及压力传感器测得的压力参数。

其中，还包括探针装载桥；

所述探针载体包括：第一机械臂、第二机械臂、两个第一导轨；其中，所述第一机械臂、第二机械臂滑动连接至所述第一导轨；所述测试探针的施力件固定装设于第二机械臂，所述测试探针在所述第一机械臂和第二机械臂的带动下进行可控移动。

其中，所述第一机械臂和第二机械臂分别从所述探针装载桥的两端穿过，并通过连接部件与所述探针装载桥连接。

其中，所述探针装载桥相对于所述第一机械臂和第二机械臂的位置能进行调节。

相对于现有技术，本实用新型具有以下优势：

本实用新型的测试探针包括：施力件、固定于施力件上的压力传感器、固定于压力传感器上的压力传导装置、固定于压力传导装置上的探针本体。本实用新型的测试设备包括：电参数测试装置本体、数据处理器和测试探针。

本实用新型的测试探针和测试设备，由于通过测试探针的压力传导装置感应接触压力并传导给压力传感器，由压力传感器测得压力参数，由电参数测试装置本体测得该压力参数对应的电参数，且该电参数可以表征半导体性能，因此，采用本实用新型，通过获取的压力参数及其对应的电参数，能提高测试的精确度和可控性。

附图说明

图1为本实用新型为测试探针的细节放大示意图；

图2为本实用新型测试设备实施例的电参数测试装置本体、压力传感器和压力传感器的连接关系示意图；

图3为本实用新型测试设备实施例的立体示意图。

附图标记说明

200隔离箱

21测试基台

22测试探针

220探针本体

221压力传导装置

222压力传感器

223施力件

241探针装载桥

242第一机械臂

243第二机械臂

244第一导轨

246连接部件

27ITO像素电极

28数据信号导接点

29栅极信号导接点

具体实施方式