[实用新型]一种测试探针及测试设备

权利要求书

1.一种测试探针，其特征在于，包括：施力件、固定于施力件上的压力传感器、固定于压力传感器上的压力传导装置、固定于压力传导装置上的探针本体。

2.根据权利要求1所述的测试探针，其特征在于，所述压力传导装置为弹性件。

3.一种测试设备，其特征在于，包括：电参数测试装置本体、测试探针和数据处理器；

所述测试探针包括施力件、固定于施力件上的压力传感器、固定于压力传感器上的压力传导装置和固定于压力传导装置上的探针本体；

所述探针本体与电参数测试装置本体连接，所述数据处理器与所述电参数测试装置本体及所述压力传感器连接，用于同步获取并记录电参数测试装置本体测得的电参数及压力传感器测得的压力参数。

4.根据权利要求3所述的测试设备，其特征在于，还包括探针装载桥；

所述探针载体包括：第一机械臂、第二机械臂、两个第一导轨；其中，所述第一机械臂、第二机械臂滑动连接至所述第一导轨；所述测试探针的施力件固定装设于第二机械臂，所述测试探针在所述第一机械臂和第二机械臂的带动下进行可控移动。

5.根据权利要求4所述的测试设备，其特征在于，所述第一机械臂和第二机械臂分别从所述探针装载桥的两端穿过，并通过连接部件与所述探针装载桥连接。

6.根据权利要求5所述的测试设备，其特征在于，所述探针装载桥相对于所述第一机械臂和第二机械臂的位置能进行调节。