[实用新型]小型玻璃移载机有效
申请号: | 201220455906.9 | 申请日: | 2012-09-06 |
公开(公告)号: | CN202839574U | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 孙霁鹏;闫绍恒 | 申请(专利权)人: | 天津杰科同创科技发展有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人: | 王来佳 |
地址: | 300300*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 小型 玻璃 移载机 | ||
1.一种小型玻璃移载机,其特征在于:包括机架、放料区、上料区以及抓取平移机构,所述立方形机架下方一侧设置为放料区,该机架下方另一侧为上料区,在机架上安装有一立方形的护罩,在该护罩内的机架上对应放料区与上料区位置横向安装有抓取平移机构;
该抓取平移机构包括一横向贯通安装在机架上的平移轨道,在该平移轨道上导向滑动安装有抓取装置,该抓取装置由安装在平移导轨一端的水平平移电机通过平移同步带驱动在上料区与放料区之间导向往复移动。
2.根据权利要求1所述的小型玻璃移载机,其特征在于:所述抓取装置包括升降电机、升降齿条、吸盘框架以及真空吸盘,该升降电机输出端啮合安装升降齿条,该升降齿条下端的机架内吊装有一矩形的吸盘框架,该吸盘框架下端间隔均布安装有多个真空吸盘。
3.根据权利要求1所述的小型玻璃移载机,其特征在于:所述上料区内的玻璃板放置在移动式底座上。
4.根据权利要求2所述的小型玻璃移载机,其特征在于:所述真空吸盘均安装有自伸缩调节式吸盘杆。
5.根据权利要求1所述的小型玻璃移载机,其特征在于:所述上料区与放料区之间的机架上安装有朝向上料区的风机。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造