[实用新型]多晶硅铸锭炉的热场结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉技术领域，尤其涉及一种多晶硅铸锭炉的热场结构。 

背景技术

多晶硅在生长过程中，由于热场的不稳定，会在晶体内部产生微晶，这样就会使多晶硅生产的可利用率大大降低；现有技术中大多是通过改善生产来提高成晶率，但是因为多晶硅的生长工艺较为复杂，从而增加了生产成本。 

发明实用新型内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉的热场结构，该热场结构稳定可靠，有利于提高成晶率。 

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括铸锭炉炉体，在该铸锭炉炉体内设置有支撑板、放置在所述支撑板上的石墨坩埚、及加热硅材料的加热器；所述加热器为由多块等静压石墨电阻围拢而成的罩体结构，该加热器定位罩设在所述石墨坩埚的外围。 

作为本实用新型的进一步改进，所述加热器包括有多个连接件、第一加热器组件和设置在该第一加热器组件下方的第二加热器组件，其中，所述第一加热器组件由多块呈N型和U型的电阻拼接而成，所述第二加热器组件由四块呈波浪型的电 阻依次首尾相连而成，且所述第一加热器组件通过该多个连接件与所述第二加热器组件连接为一体。 

作为本实用新型的进一步改进，所述每个连接件皆由第一、二连接段组成，所述第一连接段的一端与第二连接段的一端垂直连接，所述第一连接段的另一端与第一加热器组件锁固连接，所述第二连接段的另一端与第二加热器组件锁固连接。 

作为本实用新型的进一步改进，所述第一连接段的长度为12-16厘米，所述第二连接段的长度为18-26厘米。 

本实用新型的有益效果是：通过将该铸锭炉炉体内用于加热硅材料的加热器分为第一、二加热器组件两个部分，其中，第一加热器组件由多块呈N型和U型的电阻拼接而成，第二加热器组件由四块呈波浪型的电阻依次首尾相连而成，且第一加热器组件通过多个连接件与第二加热器组件连接为一体。该加热器的结构既合理利用了铸锭炉炉体内的空间，又满足了铸锭炉需要的辐射面积，从而得到了稳定高效可靠的热场。  

附图说明

图1为本实用新型结构剖面图； 

图2为本实用新型所述加热器俯视图。 

具体实施方式

下面参照附图对本实用新型的多晶硅铸锭炉的热场结构的实施例进行详细说明。 

本实用新型所述的一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括铸锭炉炉体，在该铸锭炉炉体内设置有支撑板1、放置在所述支 撑板上的石墨坩埚2、及加热硅材料的加热器3；所述加热器3为由多块等静压石墨电阻围拢而成的罩体结构，该加热器定位罩设在所述石墨坩埚2的外围。等静压石墨电阻的性能稳定，能够提高热场能源的使用效率。 

在本实施例中，所述加热器3包括有多个连接件30、第一加热器组件31和设置在该第一加热器组件下方的第二加热器组件32，其中，所述第一加热器组件31由多块呈N型和U型的电阻拼接而成，所述第二加热器组件32由四块呈波浪型的电阻依次首尾相连而成，且所述第一加热器组件通过该多个连接件与所述第二加热器组件连接为一体。该加热器的结构，既合理利用了铸锭炉炉体内的空间，又满足了铸锭炉需要的辐射面积，从而得到了稳定高效可靠的热场。 

在本实施例中，所述每个连接件皆由第一、二连接段组成，所述第一连接段的一端与第二连接段的一端垂直连接，所述第一连接段的另一端与第一加热器组件锁固连接，所述第二连接段的另一端与第二加热器组件锁固连接。 

其中，所述第一连接段的长度为12-16厘米，所述第二连接段的长度为18-26厘米。