[实用新型]多晶硅铸锭炉的热场结构有效
| 申请号： | 201220451255.6 | 申请日： | 2012-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN202730302U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 方定盛 | 申请（专利权）人： | 美尔森先进石墨（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215301 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅铸锭炉的热场结构，包括铸锭炉炉体，在该铸锭炉炉体内设置有支撑板（1）、放置在所述支撑板上的石墨坩埚（2）、及加热硅材料的加热器（3）；其特征在于：所述加热器（3）为由多块等静压石墨电阻围拢而成的罩体结构，该加热器定位罩设在所述石墨坩埚（2）的外围。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的热场结构，其特征在于：所述加热器（3）包括有多个连接件（30）、第一加热器组件（31）和设置在该第一加热器组件下方的第二加热器组件（32），其中，所述第一加热器组件（31）由多块呈N型和U型的电阻拼接而成，所述第二加热器组件（32）由四块呈波浪型的电阻依次首尾相连而成，且所述第一加热器组件通过该多个连接件与所述第二加热器组件连接为一体。
3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉的热场结构，其特征在于：每个所述连接件皆由第一、二连接段组成，所述第一连接段的一端与第二连接段的一端垂直连接，所述第一连接段的另一端与第一加热器组件锁固连接，所述第二连接段的另一端与第二加热器组件锁固连接。
4.根据权利要求3所述的多晶硅铸锭炉的热场结构，其特征在于：所述第一连接段的长度为12-16厘米，所述第二连接段的长度为18-26厘米。
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