[实用新型]一种拉硅棒用保温型导流筒有效
申请号: | 201220444414.X | 申请日: | 2012-09-03 |
公开(公告)号: | CN202744652U | 公开(公告)日: | 2013-02-20 |
发明(设计)人: | 王桂奋;谢德兵;王迎春 | 申请(专利权)人: | 金坛正信光伏电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 拉硅棒用 保温 导流 | ||
技术领域
本实用新型涉及拉硅棒的领域,尤其是一种拉硅棒用保温型导流筒。
背景技术
单晶炉拉制单晶硅棒时,盛装多晶硅块等原料的石英坩埚放入位于埚托之上的石墨坩埚托内,在保护性气氛中加热融化,调控到工艺温度后,籽晶经导流筒插入溶融多晶硅液中,与坩埚作逆向旋转并向上提升,使多晶硅液按籽晶的硅原子排列顺序结晶凝固成单晶硅棒。
目前在单晶硅棒生产过程中,需要对硅液进行导流,由于目前使用的导流筒为直筒状,在硅液通过导流筒时,导流速度不稳定,另外,由于导流筒内壁的温度很难控制,容易造成硅液温度的不稳定性,从而影响硅棒的质量。
发明实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了克服上述中存在的问题,提供了一种拉硅棒用保温型导流筒,其能够保证硅液的温度的稳定性并且提供硅棒的质量。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种拉硅棒用保温型导流筒,包括外筒体和设在外筒体内壁上的内筒体,所述的外筒体的内壁和内筒体的外壁之间具有保温空腔,保温空腔内填充有保温液体,所述的外筒体外壁上端开设有进液口,外筒体外壁下端开设有出液口,进液口和出液口之间通过管道连通有恒温水箱,恒温水箱内安装有恒温控制器。
为了能够更好的起到导流作用,所述的外筒体与内筒体均呈漏斗状,外筒体的内壁和内筒体的内壁与轴线之间的夹角均为8°。
所述的内筒体内表面上涂覆有碳/碳复合抗氧化层。
本实用新型的有益效果是:所述的一种拉硅棒用保温型导流筒,采用恒温水箱的设计,能够有效地控制内筒体表面上的问题,从而有效的控制硅棒流过内筒体内壁上的温度,从而提高硅棒的良率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型所述的一种拉硅棒用保温型导流筒的整体结构示意图。
附图中标记分述如下:1、外筒体,11、进液口,12、出液口,2、内筒体,3、保温空腔,4、恒温水箱,5、恒温控制器。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示的一种拉硅棒用保温型导流筒,包括呈漏斗状的外筒体1,外筒体1的内壁与轴线之间的夹角为8°,在外筒体1内壁上设有内筒体2,内筒体2也呈漏斗状,内筒体2的内壁与轴线之间的夹角为8°,在内筒体2的内壁上涂覆有碳/碳复合抗氧化层,在外筒体1的内壁和内筒体2的外壁之间具有保温空腔3,保温空腔3内填充有保温液体,外筒体1外壁上端开设有进液口11,外筒体1外壁下端开设有出液口12,进液口11和出液口12之间通过管道连通有恒温水箱4,恒温水箱4内安装有恒温控制器5。
本实用新型的一种拉硅棒用保温型导流筒,在进行拉硅棒制造中,硅液通过导流筒时,内筒体2的内壁的温度为适宜生产硅棒的温度,此原因是由保温空腔3内的保温液体通过出液口12流入恒温水箱4内,然后通过管道从而进液 口进入保温空腔3内,形成一个循环,从而始终保持保温空腔3内温度的稳定性,从而保证了生产出的硅棒的稳定性。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
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