[实用新型]一种用于单晶硅棒破方工艺的工装装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒破方辅助设备技术领域，特别涉及一种用于单晶硅棒破方工艺的工装装置。

背景技术

单晶硅片是一种广泛使用的电子元器件，单晶硅片是在单晶硅棒的基础上，通过滚磨、倒角等工艺切割出来的，目前，通过直拉法和区熔法生成的单晶硅棒多为圆柱形，在将单晶硅棒加工成单晶硅片的过程中，首先需要将圆柱形的单晶硅棒加工成方形，也即对单晶硅片进行破方工艺。

在对单晶硅棒破方时，首先将单晶硅棒的一端粘接在托盘上，而后将单晶硅棒放置在破方机的工作台上，并摆放在合适的位置，通过破方机进行破方，且一般是多根（根据破方机的加工能力，通常为16根）同时加工。在传统的工艺中，需要通过人工搬运的方式将单晶硅棒抬上工作台，而每根单晶硅棒的质量在35公斤左右，工作台高1.0米，工人在不借助其他工具的条件下搬运单晶硅棒，非常消耗工人体力，且搬运过程很容易造成晶棒磕碰和工人受伤。在实际工作过程中，可以考虑借助电动叉车等工程用起重设备辅助搬运单晶硅棒，但是，由于单晶硅棒的质地较脆，在用起重设备辅助搬运时，单晶硅棒的固定较为困难，极易造成磕碰，导致单晶硅棒的损坏。

因此，设计一种专用工装，配合工程起重设备吊起单晶硅棒，从而降低工人劳动强度，同时避免单晶硅棒在搬运过程中发生磕碰，保证搬运过程的可靠性和安全性，就成为本领域技术人员亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于单晶硅棒破方工艺的工装装置，其配合工程起重设备吊起单晶硅棒，从而降低工人劳动强度，同时避免单晶硅棒在搬运过程中发生磕碰，保证搬运过程的可靠性和安全性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于单晶硅棒破方工艺的工装装置，包括底座和竖直安装于所述底座上的第一立柱和第二立柱，所述底座朝向两立柱延伸方向的上表面通过安装部件与待加工单晶硅棒固定连接，两所述立柱在朝向工件安装方向上的距离大于所述待加工单晶硅棒的外径。

优选地，所述底座的横截面形状为圆形，两所述立柱沿所述底座的直径方向设置。

优选地，还包括第三立柱，所述第三立柱在所述底座周向上的位置位于所述第一立柱与所述第二立柱之间。

优选地，所述第一立柱、所述第二立柱和所述第三立柱的高度均大于所述待加工单晶硅棒的高度，且三个立柱在远离所述底座的一端通过横梁固定连接。

优选地，各所述立柱与所述横梁之间均设置有加强筋。

优选地，还包括设置于所述横梁上方的吊环。

优选地，还包括紧固部件，所述紧固部件设置于远离所述第三立柱的一侧，并贴合于所述待加工单晶硅棒。

优选地，所述紧固部件为垂直于各所述立柱设置的弹性索。

优选地，所述弹性索的数目为多个，各所述弹性索沿各所述立柱的轴向分散设置。

本实用新型所提供的工装装置用于单晶硅棒破方工艺中，以辅助破方工艺中的单晶硅棒搬运。该工装装置包括底座、第一立柱和第二立柱，其中，第一立柱和第二立柱竖直安装于所述底座上，并相对于底座向上延伸，底座朝向两立柱延伸方向的表面，即底座的上表面上具有安装部件，并通过该安装部件与待加工单晶硅棒固定连接，两立柱在待加工单晶硅棒安装方向上的距离大于待加工单晶硅棒的外径，以保证待加工单晶硅棒的顺利放入。

在破方开始之前，需要先将待加工单晶硅棒搬运至工作台上，此时，先将待加工单晶硅棒放置在工装装置上，并令其底面与底座的上表面固定连接，通过第一立柱和第二立柱限制待加工单晶硅棒在横向的自由度，避免硅棒移动，同时也避免其他物体与硅棒发生碰撞，而后通过电动叉车等工程起重设备起吊工装装置，将工装装置连同待加工单晶硅棒一起搬运至破方机的工作台上。这样，在搬运过程中无需人工抬起待加工单晶硅棒，降低了工人的劳动强度；同时，工装装置降低了起吊设备吊起单晶硅棒的难度，避免了待加工单晶硅棒在搬运过程中发生碰撞，提高了搬运过程的可靠性和安全性。

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的工装装置还包括第三立柱，第三立柱在底座周向上的位置位于所述第一立柱与所述第二立柱之间，以便进一步保证待加工单晶硅棒的搬运安全性。

在另一种优选的实施方式中，本实用新型所提供工装装置还包括紧固部件，该紧固部件设置于远离第三立柱的一侧，并贴合于待加工单晶硅棒；这样，在硅棒放入工装装置后，工装装置没有防护立柱的开口一端通过紧固部件封闭，以便保证待加工单晶硅棒在搬运过程中的安全性。

附图说明

图1为本实用新型所提供的工装装置一种具体实施方式的结构示意图；