[实用新型]一种用于单晶硅棒破方工艺的工装装置

权利要求书

1.一种用于单晶硅棒破方工艺的工装装置，其特征在于，包括底座（1）和竖直安装于所述底座（1）上的第一立柱（21）和第二立柱（22），所述底座（1）朝向两立柱延伸方向的上表面通过安装部件与待加工单晶硅棒（3）固定连接，两所述立柱在朝向工件安装方向上的距离大于所述待加工单晶硅棒（3）的外径。

2.根据权利要求1所述的用于单晶硅棒破方工艺的工装装置，其特征在于，所述底座（1）的横截面形状为圆形，两所述立柱沿所述底座（1）的直径方向设置。

3.根据权利要求2所述的用于单晶硅棒破方工艺的工装装置，其特征在于，还包括第三立柱（23），所述第三立柱在所述底座（1）周向上的位置位于所述第一立柱（21）与所述第二立柱（22）之间。

4.根据权利要求3所述的用于单晶硅棒破方工艺的工装装置，其特征在于，所述第一立柱（21）、所述第二立柱（22）和所述第三立柱的高度均大于所述待加工单晶硅棒（3）的高度，且三个立柱在远离所述底座（1）的一端通过横梁（4）固定连接。

5.根据权利要求4所述的用于单晶硅棒破方工艺的工装装置，其特征在于，各所述立柱与所述横梁（4）之间均设置有加强筋（5）。

6.根据权利要求4所述的用于单晶硅棒破方工艺的工装装置，其特征在于，还包括设置于所述横梁（4）上方的吊环（6）。

7.根据权利要求3至6任一项所述的用于单晶硅棒破方工艺的工装装置，其特征在于，还包括紧固部件（7），所述紧固部件（7）设置于远离所述第三立柱的一侧，并贴合于所述待加工单晶硅棒（3）。

8.根据权利要求7所述的用于单晶硅棒破方工艺的工装装置，其特征在于，所述紧固部件（7）为垂直于各所述立柱设置的弹性索。

9.根据权利要求8所述的用于单晶硅棒破方工艺的工装装置，其特征在于，所述弹性索的数目为多个，各所述弹性索沿各所述立柱的轴向分散设置。