[实用新型]用于蚀刻液循环再生系统的液位传感器

权利要求书

1.用于蚀刻液循环再生系统的液位传感器，包括杆体（6），其特征在于：所述杆体（6）呈内部中空的圆柱形结构，其一端为感应杆（3），感应杆（3）内部设有干簧管（2），感应杆（3）两端分别设有挡圈（1）和定位销（5），磁性浮块（4）套在感应杆（3）上，杆体（6）在定位销（5）右端还设有下挡块（7）和上挡块（9），下挡块（7）和上挡块（9）之间的杆体（6）内设有凹槽（8），杆体（6）在上挡块（9）外的一端还开有与杆体（6）内部空腔相连通的通孔（10），与干簧管（2）电连接的传感线（11）从通孔（10）穿出。

2.根据权利要求1所述的用于蚀刻液循环再生系统的液位传感器，其特征在于：所述挡圈（1）位于感应杆（3）端部。

3.根据权利要求1所述的用于蚀刻液循环再生系统的液位传感器，其特征在于：所述磁性浮块（4）采用耐腐蚀的塑胶材料制成，内部设有磁性物质。

4.根据权利要求3所述的用于蚀刻液循环再生系统的液位传感器，其特征在于：所述磁性物质为磁铁。

5.根据权利要求1所述的用于蚀刻液循环再生系统的液位传感器，其特征在于：所述传感线（11）涂有耐腐蚀且绝缘的保护膜。

6.根据权利要求1所述的用于蚀刻液循环再生系统的液位传感器，其特征在于：所述杆体（6）在通孔（10）一端的外表面还设有外螺纹。