[实用新型]可调式真空磁控溅射阳极罩

权利要求书

1.一种可调式真空磁控溅射阳极罩，包括固定在靶背面的阳极罩，阳极罩的外侧面上设置有阳极罩溅射孔，其特征是：所述阳极罩溅射孔为矩形孔，在阳极罩溅射孔的一侧设置有可以调节的活动挡板。

2.根据权利要求1所述的可调式真空磁控溅射阳极罩，其特征是：所述活动挡板包括上半部分和下半部分，两部分之间通过销轴铰接在一起，所述销轴固定在阳极罩上表面；上半部分活动挡板的上侧和下半部分活动挡板的下侧分别通过销轴铰接有上、下两个水平推板，上、下两个水平推板的末端分别通过销轴铰接在上、下L型推杆的拐脚末端；L型推杆的横杆横向贯穿阳极罩，贯穿的轴孔位置设置密封结构。

3.根据权利要求2所述的可调式真空磁控溅射阳极罩，其特征是：所述密封结构包括焊接在推杆上的环形外延垫片，环形密封垫和定位室；所述定位室位于靶背板的底面上，定位室和靶背板上同时设置有轴孔，L型推杆的横杆安装于该两轴孔中，所述环形外延垫片位于定位室内腔中，所述环形密封垫位于环形外延垫片与靶底面之间。

4.根据权利要求2或3所述的可调式真空磁控溅射阳极罩，其特征是：所述L型推杆的横杆末端装有把手。