[实用新型]一种改进的可控硅结构有效
申请号: | 201220348436.6 | 申请日: | 2012-07-18 |
公开(公告)号: | CN202772138U | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 耿开远;周建;朱法扬 | 申请(专利权)人: | 启东吉莱电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/74 | 分类号: | H01L29/74;H01L29/06 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 卢海洋 |
地址: | 226200 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改进 可控硅 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种改进的可控硅结构,属于可控硅生产领域。
背景技术
可控规生产过程中,阴极和门极均靠氧化层保护,采用氧化层保护,存在如下缺点:1、氧化层易受到杂质离子影响造成阴极、门极间漏电大,器件失效;2、表面浓度越淡,表面易形成反型,容易使器件失效;3、阴极和门极之间因工作时存在工作电流和电压,使用过程中易造成此处PN结烧毁,器件失效。因此,应该提供一种新的技术方案解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种表面无烧毁、可靠性高的改进的可控硅结构。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
一种改进的可控硅结构,包括台面槽、穿通环、长基区、正面短基区、背面短基区、阴极区和门极区,所述穿通环设于长基区的四周,所述阴极区和门极区之间开有阴极门极间槽,所述阴极门极间槽内填充有玻璃粉。
本实用新型的优点是:在阴极区和门极区之间开有间槽,并在槽内填充高纯度玻璃粉,玻璃粉耐压高,漏电低,也不存在反型条件和表面烧毁现象,大大提高了可控硅的可靠性。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细叙述。
图1为本实用新型结构俯视图。
图2为本实用新型结构剖视图。
其中:1、台面槽,2、穿通环,3、长基区,4、正面短基区,5、背面短基区,6、阴极区,7、门极区,8、阴极门极间槽,9、玻璃粉。
具体实施方式
如图1和2所示,本实用新型一种改进的可控硅结构,包括台面槽1、穿通环2、长基区3、正面短基区4、背面短基区5阴极区6和门极区7,穿通环2设于长基区3的四周,阴极区6和门极区7之间开有阴极门极间槽8,阴极门极间槽8内填充有玻璃粉9。
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