[实用新型]基于数字微镜阵列全谱原子荧光光谱仪

权利要求书

1.一种基于数字微镜阵列全谱原子荧光光谱仪，包括：色散原子荧光检测系统和非色散原子荧光检测系统，其特征在于，所述色散原子荧光检测系统包括激发光源、原子化器、单色器、第一光学系统和第三光学系统，以原子化器为中心，激发光源和单色器分别与原子化器相对应，激发光源和原子化器之间的光路上设有第一光学系统，原子化器和单色器之间的光路上设有第三光学系统；所述激发光源经第一光学系统聚焦到原子化器上，被激发原子荧光经第三光学系统聚焦到单色器；所述非色散原子荧光检测系统包括激发光源、原子化器、检测器、第一光学系统和第二光学系统，以原子化器为中心，激发光源和检测器分别与原子化器相对应，激发光源和原子化器之间的光路上设有第一光学系统，原子化器和检测器之间的光路上设有第二光学系统；所述激发光源经第一光学系统聚焦到原子化器上，被激发原子荧光经第二光学系统聚焦被检测器接收。

2.根据权利要求1所述的基于数字微镜阵列全谱原子荧光光谱仪，其特征在于，所述单色器包括狭缝、光栅、数字微镜阵列、凹面反光镜和光电检测器，荧光信号首先通过狭缝，再经光栅聚焦到数字微镜阵列上，由已知被测元素的波长找到相应微镜单元，将此波长光信号反射到凹面反光镜上，再聚焦到光电检测器进行信号检测。

3.根据权利要求2所述的基于数字微镜阵列全谱原子荧光光谱仪，其特征在于，所述数字微镜阵列是用数字电压信号控制微小镜子的翻转来实现光学功能的装置。

4.根据权利要求1、2或3所述的基于数字微镜阵列全谱原子荧光光谱仪，其特征在于，所述色散原子荧光检测系统的激发光源与原子化器之间的光路与所述原子化器与单色器之间的光路存在角度，所述角度小于等于90°。

5.根据权利要求1、2或3所述的基于数字微镜阵列全谱原子荧光光谱仪，其特征在于，所述非色散原子荧光检测系统的激发光源与原子化器之间的光路与所述原子化器与检测器之间的光路存在角度，所述角度小于等于90°。