[实用新型]一种用于LED外延设备的拆卸工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种拆卸工具，具体涉及一种用于LED外延设备的拆卸工具。

背景技术

在LED外延芯片生产过程中，当需对MOCVD（金属有机化学气相沉积）的REACTOR（反应室） 进行维护保养时，反应室内部备件（如：尾气分配盘）需要进行拆装。目前的拆装大多采用纯手工操作，不仅费时费力，而且在操作时容易损坏到设备上的其它配件（如：灯丝、灯丝支架等）。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种结构简单、能够保证拆卸准确迅速的用于LED外延设备的拆卸工具。

一种用于LED外延设备的拆卸工具，包括两个相铰接的卡爪臂，所述卡爪臂包括连接部及从连接部下端折弯的卡爪部，其中一个卡爪臂的连接部铰接在另一卡爪臂的连接部与卡爪部的相接处。

本实用新型结构简单，制作方便，利用活动的连杆结构，配合设备配件的本身特点，能够将LED外延设备上的配件顺利方便的拆除，提高了工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

实施例1

参见图1，本实用新型提供的一种用于LED外延设备的拆卸工具，包括两个相铰接的卡爪臂1，所述卡爪臂1包括连接部1a及从连接部1a下端折弯的卡爪部1b，其中一个卡爪臂1的连接部1a铰接在另一卡爪臂1的连接部1a与卡爪部1b的相接处。