[实用新型]光干涉气体检测装置光路系统有效
申请号: | 201220284375.1 | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN202720190U | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 张晶;张小平;刘佳 | 申请(专利权)人: | 重庆同博测控仪器有限公司 |
主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45;G01N21/01 |
代理公司: | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人: | 谢殿武 |
地址: | 400700 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 干涉 气体 检测 装置 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及光学技术领域,尤其涉及光干涉气体检测装置光路系统。
背景技术
现有的光干涉气体检测设备都是采用50年代日本理研设计的光路和机械结构,其原理为雅敏干涉。这种结构测量范围宽、有一定测量精度、维护工作量小,但因光学系统的成像光程较长和光学机械组合结构件较多,产品体积较大,而且由于光源没有准直,有杂光,从而容易产生零点漂移和测量误差。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型目的在提供一种光干涉气体检测装置光路系统,结构更为简单,可减小产品体积。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的:光干涉气体检测装置光路系统,包括气室,还包括设置于气室一端外,用于将光源发出的光束分为两路平行光束射入气室的分光模块。
进一步,所述气室包括采样气室和参考气室,所述采样气室和参考气室分别与分光模块射出的两路平行光束中的一路相对设置。
进一步,所述分光模块为一块分光棱镜。
进一步,所述分光棱镜相对于气室倾斜放置,以使所述两路平行光束沿气室的长度方向射入气室。
进一步,所述光干涉气体检测装置光路系统还包括一反射模块,所述反射模块设置于气室与分光模块相对的另一端外,用于将分光模块反射经过气室的两路平行光束反射回气室。
进一步,所述光干涉气体检测装置光路系统还包括一合光模块,所述合光模块设置于气室与反射模块相对的另一端外,用于将反射模块反射经过气室的两路平行光合为一束光。
进一步,所述合光模块与分光模块为一体设置的胶合棱镜。
进一步,所述合光模块与分光模块为分光平面镜。
进一步,所述光干涉气体检测装置光路系统还包括成像系统,所述成像系统包括感光模块,所述感光模块设置于聚光模块的光线射出方向上。
进一步,所述光干涉气体检测装置光路系统还包括光源模块,所述光源模块包括光源和准直光路,所述准直光路设置于光源的发射方向上,所述准直光路沿光线发射方向,依次包括聚光镜、光栏和准直镜,所述光栏设置于聚光镜的焦点内,所述准直镜设置于聚光镜的焦点外。
本实用新型的光干涉气体检测装置光路系统结构简单,可减小整机产品的体积,特别是在进一步技术方案中,合光模块与分光模块为胶合棱镜,结构更为紧凑,使仪器便携成为可能。可降低产品的装配要求,提高精度;光源设置两级透镜组成的准直系统,准直效果好,提高检测精度。
本实用新型的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述,并且在某种程度上,基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的,或者可以从本实用新型的实践中得到教导。本实用新型的目标和其他优点可以通过下面的说明书和权利要求书来实现和获得。
附图说明
图1示出了实施例1的光干涉气体检测装置光路系统的示意图;
图2示出了实施例2的光干涉气体检测装置光路系统另一种实施方式的示意图;
图3示出了实施例3的光干涉气体检测装置光路系统中光源模块的示意图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的优选实施例进行详细的描述。应当理解,优选实施例仅为了说明本实用新型,而不是为了限制本实用新型的保护范围。
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