[实用新型]光干涉气体检测装置光路系统有效
申请号: | 201220284375.1 | 申请日: | 2012-06-15 |
公开(公告)号: | CN202720190U | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 张晶;张小平;刘佳 | 申请(专利权)人: | 重庆同博测控仪器有限公司 |
主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45;G01N21/01 |
代理公司: | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 11129 | 代理人: | 谢殿武 |
地址: | 400700 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 干涉 气体 检测 装置 系统 | ||
1.光干涉气体检测装置光路系统,包括气室,其特征在于:还包括设置于气室一端外,用于将光源发出的光束分为两路平行光束射入气室的分光模块。
2.根据权利要求1所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于:所述气室包括采样气室和参考气室,所述采样气室和参考气室分别与分光模块射出的两路平行光束中的一路相对设置。
3.根据权利要求2所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于:所述分光模块为一块分光棱镜。
4.根据权利要求3所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于:所述分光棱镜相对于气室倾斜放置,以使所述两路平行光束沿气室的长度方向射入气室。
5.根据权利要求4所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于:所述光干涉气体检测装置光路系统还包括一反射模块,所述反射模块设置于气室与分光模块相对的另一端外,用于将分光模块反射经过气室的两路平行光束反射回气室。
6.根据权利要求5所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于:所述光干涉气体检测装置光路系统还包括一合光模块,所述合光模块设置于气室与反射模块相对的另一端外,用于将反射模块反射经过气室的两路平行光合为一束光。
7.根据权利要求6所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于:所述合光模块与分光模块为一体设置的胶合棱镜。
8.根据权利要求6所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于:所述合光模块与分光模块为分光平面镜。
9.根据权利要求6-8中任一项所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于:所述光干涉气体检测装置光路系统还包括成像系统,所述成像系统包括投影组件和感光模块,所述感光模块设置于聚光模块的光线射出方向上,投影组件设置于聚光模块与感光模块之间。
10.根据权利要求1-8中任一项所述的光干涉气体检测装置光路系统,其特征在于:所述光干涉气体检测装置光路系统还包括光源模块,所述光源模块包括光源和准直光路,所述准直光路设置于光源的发射方向上,所述准直光路沿光线发射方向,依次包括聚光镜、光栏和准直镜,所述光栏设置于聚光镜的焦点内,所述准直镜设置于聚光镜的焦点外。
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