[实用新型]硅片隧道烘箱

权利要求书

1. 一种硅片隧道烘箱，包括保温箱体（1），保温箱体（1）的左、右两侧开有相贯通的开口，保温箱体（1）上固定有带输送链条（2）的链输送装置，输送链条（2）穿过两开口，其特征在于：所述的保温箱体（1）内上部设有多个出风口（1-1），保温箱体（1）内设有热辐射加热装置（3），且热辐射加热装置（3）位于出风口（1-1）下方，保温箱体（1）内下部设有进风口（1-2），所述的保温箱体（1）外设有循环风装置（4），循环风装置（4）的吸风口与保温箱体（1）的出风口（1-1）相连通，循环风装置（4）的吹风口与保温箱体（1）的进风口（1-2）相连通。

2.根据权利要求1所述的硅片隧道烘箱，其特征在于：所述的保温箱体（1）的箱壁内填充有保温棉（1-3）。

3.根据权利要求1所述的硅片隧道烘箱，其特征在于：所述的链输送装置具有安装框架（5），保温箱体（1）固定在安装框架（5）上，在输送链条（2）右端的安装框架（5）上安装有位置检测传感器（6）。