[实用新型]一种四氯化硅低温氢化流化床气体分布装置

权利要求书

1.一种四氯化硅低温氢化流化床气体分布装置，包括气体分布板（1）和数个泡罩（2）；所述气体分布板（1）呈圆形，其上均布有数个泡罩安装孔（10），该数个泡罩安装孔（10）一一对应安装有所述数个泡罩（2），其特征在于：所述每个泡罩（2）包括泡帽（4）、升气管（6）和泡罩分布板（7）；所述泡帽（4）的顶部设有安装螺母（3），其下方设有所述泡罩分布板（7）；所述升气管（6）的底部设有进气均布孔板（8），并穿过所述泡罩分布板（7）伸入所述泡帽（4）内部；所述泡罩分布板（7）底部的所述升气管（6）的两侧分别设有呈外螺纹的连接部（9），该连接部（9）将所述泡罩（2）与所述泡罩安装孔（10）一一对应连接在一起；所述泡帽（4）内壁与所述升气管（6）外壁之间设有泡帽支撑肋板（5）。

2.如权利要求1所述的一种四氯化硅低温氢化流化床气体分布装置，其特征在于：所述数个泡罩安装孔（10）以所述气体分布板（1）的中心线呈轴对称排布，或以所述气体分布板（1）的中心呈中心对称排布。

3.如权利要求2所述的一种四氯化硅低温氢化流化床气体分布装置，其特征在于：所述数个泡罩安装孔（10）以正三角形或菱形交错方式排布在所述气体分布板（1）上，且所述数个泡罩安装孔（10）的孔与孔之间间隔距离为100~400mm。

4.如权利要求1所述的一种四氯化硅低温氢化流化床气体分布装置，其特征在于：所述每个泡罩安装孔（10）的内壁设有内螺纹，该内螺纹与所述连接部（9）的外螺纹相匹配。

5.如权利要求1所述的一种四氯化硅低温氢化流化床气体分布装置，其特征在于：所述安装螺母（3）设在所述泡帽（4）顶部中心位置。

6.如权利要求1所述的一种四氯化硅低温氢化流化床气体分布装置，其特征在于：所述泡帽（4）内壁与所述升气管（6）外壁之间设有数块泡帽支撑肋板（5）。

7.如权利要求1所述的一种四氯化硅低温氢化流化床气体分布装置，其特征在于：所述泡帽（4）的直径小于所述泡罩分布板（7）的直径，且所述泡罩分布板（7）为圆板形。

8.如权利要求1所述的一种四氯化硅低温氢化流化床气体分布装置，其特征在于：所述泡帽（4）的底端与所述泡罩分布板（7）的间距为10~100mm。

9.如权利要求1所述的一种四氯化硅低温氢化流化床气体分布装置，其特征在于：所述进气均布孔板（8）的孔径小于所述升气管（6）的内径。