[实用新型]基于双旋转微镜的光学扫描探针

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于二维圆周扫描和三维螺旋扫描的光学扫描探针，特别是采用双旋转微镜作为光学扫描器件。

背景技术

微型旋转光学扫描器件在光学内窥成像领域有很重要的应用。集成有微型旋转光学扫描器件的成像探针可在人体各种直径的管道(如血管，消化道等)内完成360度圆周扫描，从而获得二维横截面图像或三维螺旋扫描图像。

通常，微型旋转光学扫描器件都采用基于压电或静电驱动原理的微型旋转电机。其直径一般为4-5mm左右，但其长度较长，严重影响其所在的成像探针的弯曲灵活性。为了克服其长度问题，世界上有些科研单位已研发了薄型超声波电机，但目前未见其大量应用；另一些研究组开发了采用硅微加工技术制造的扫描微镜，如新加坡Institute of Microelectronics开发的电热双轴扫描微镜及其在圆周扫描应用方面的探索。虽然目前单一电热双轴扫描微镜无法达到45度左右的机械偏转角度，但是采用双微镜组合令入射光线旋转2次后能够完美地将入射光线弯折90度以垂直入射成像目标。

本实用新型提出一种用于二维圆周扫描和三维螺旋扫描的光学扫描探针，特别是采用双旋转微镜作为光学扫描器件，获得90度的光学反射角度，并完成360度圆周扫描。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出用于二维圆周扫描和三维螺旋扫描的光学扫描探针，特别是采用双旋转微镜作为光学扫描器件，获得90度的光学反射角度，并完成360度圆周扫描。

为实现上述目的，本实用新型采用技术方案是：它包括双旋转微镜，微光学系统和硅光学平台，其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器，环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤；硅光学平台用于校准和固定微光学系统，并为双旋转微镜提供电气连接；经过微光学系统传输和聚焦的入射光束经双旋转微镜偏转90度后垂直入射到成像目标，由成像目标反射回来的光束经双旋转微镜偏转90度后由微光学系统收集并传输到外部光学成像系统。

所述的微驱动器采用微加工技术制成，基于电热驱动原理，由多层材料，如硅，二氧化硅，金属，金属氧化物等组成，用于将外部输入的电驱动信号通过双金属片效应转换为机械形变；

所述的平面弹簧采用微加工技术制成，由多层材料，如硅，二氧化硅等组成，用于将微驱动器一端的位移传递给环形镜片和圆形镜片；

所述的环形镜片为环形，采用微加工技术制成，由多层材料，如硅，二氧化硅，金属，金属氧化物等组成，用于反射经圆形镜片反射的入射光线，一面镀有高反射率镀层；

所述的圆形镜片为圆形，采用微加工技术制成，由多层材料，如硅，二氧化硅，金属，金属氧化物等组成，用于反射直接入射的光线，与环形镜片反光面相对的表面镀有高反射率镀层；

所述的微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤，两者之间采用光学树胶连接；

所述的硅光学平台采用微加工技术制成，表面刻有V型槽用于校准和固定微光学系统，表面有金属线为一端的双旋转微镜和另一端的外部电子驱动信号接口之间建立电气连接。