[实用新型]基于双旋转微镜的光学扫描探针

权利要求书

1.一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，其特征在于：包括双旋转微镜，微光学系统和硅光学平台，其中双旋转微镜包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片；微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器，环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连；微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤；硅光学平台用于校准和固定微光学系统，并为双旋转微镜提供电气连接。 

2.如权利要求1所述的一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，其特征在于：所述的微驱动器采用微加工技术制成，基于电热驱动原理。 

3.如权利要求1所述的一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，其特征在于：所述的环形镜片和圆形镜片的机械偏转角度均为0-45度。 

4.如权利要求1所述的一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，其特征在于：所述的平面弹簧采用微加工技术制成。 

5.如权利要求1所述的一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，其特征在于：所述的环形镜片为环形，采用微加工技术制成，一面镀有高反射率镀层。 

6.如权利要求1所述的一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，其特征在于：所述的圆形镜片为圆形，采用微加工技术制成，与环形镜片反光面相对的表面镀有高反射率镀层。 

7.如权利要求1所述的一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，其特征在于：所述的微光学系统包括自聚焦透镜和单模光纤，两者之间采用光学树胶连接。 

8.如权利要求1所述的一种基于双旋转微镜的光学扫描探针，其特征在于：所述的硅光学平台采用微加工技术制成，表面刻有V型槽，表面有金属线为一端的双旋转微镜和另一端的外部电子驱动信号接口之间建立电气连接。