[实用新型]一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备有效
| 申请号： | 201220220422.6 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN202671420U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 姜翠宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市正星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C23C14/54;C23C14/50;C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 同时 实现 玻璃 基板单 双面 镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，其特征在于：该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备由箱体(1)、基片架(2)、加热器(3)、导杆(4)、传动轮(5)、上横梁(6)、下横梁(7)构成，所述加热器(3)位于箱体(1)两侧真空室壁上，没有靶位的地方均设有加热器(3)，加热器(3)的数量是常规设计的1.5倍，且加热器(3)采用分段式，这样可以提高加热效率，而且可以分段控制温度，能够更好的保证玻璃受热均匀。
2.按照权利要求1或2所述的可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备，其特征在于：所述基片架(2)分别卡在上横梁(6)与下横梁(7)两侧，实现单面镀膜。
3.按照权利要求1或2所述的可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备，其特征在于：所述基片架(2)改成位于上横梁(6)与下横梁(7)中间，用卡具(8)卡住固定，实现双面镀膜。
4.按照权利要求1所述的可同时实现玻璃基板单、双面镀膜的多功能设备，其特征在于：所述加热器(3)采用上、中、下分段式加热。
5.根据权利要求1所述的可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，其特征在于：该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备的正反两面的靶位采用错位排布，可以避免两边同时溅射时，正对靶位之间的干扰。
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