[实用新型]排废液槽防溢液报警装置以及排废液槽控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，更具体地说，本实用新型涉及一种排废液槽防溢液报警装置，并且，本实用新型还涉及一种采用了该排废液槽防溢液报警装置的排废液槽控制装置。

背景技术

在半导体工艺过程中，排废液槽被用于排除制造过程用过的诸如化学溶剂之类的液体。

图1示意性地示出了根据现有技术的排废液槽控制装置(自动排液系统)的框图。

如图1所示，根据现有技术的排废液槽控制装置包括：依次连接的用于提供电能的电源1、自动变频的变压器2、用于感测排废液槽的液位高度的液位传感器3、继电器5、交流接触器6、以及用于吸引排废液槽中的废液的泵7。并且排废液槽控制装置还包括：与液位传感器3相连的液位报警装置9、与泵7相连接的泵报警装置8、以及与积液盘10相连接的漏液报警装置11。液位报警装置9、泵报警装置8、以及漏液报警装置11均连接至提醒装置13。提醒装置13例如是蜂鸣器或者闪烁灯等。例如，液位报警装置9在排废液槽的液位高度高于预定高度时发生报警；泵报警装置8在泵7连续工作超过预定时间段时发生报警；漏液报警装置11在积液盘10中存在液体时发生报警。

当诸如蜂鸣器或者闪烁灯之类的提醒装置13从液位报警装置9、泵报警装置8、以及漏液报警装置11中的任何一个接收到报警信号时，提醒装置13向操作人员发出诸如蜂鸣声或者闪烁光之类的警告信息。

进一步说，如图1所示，现有技术的排废液槽的自动排液系统基本都是先通过液位传感器3感应排废液槽中的液位高低，然后由单一继电器5(一般是KA继电器)闭合或者断开吸磁开关，从而由触发交流接触器启动或停止泵7工作。因此，对于根据现有技术的整个电路结构，如果继电器5发生故障，会导致泵7无法正常工作，如不及时进行处置泵7停止工作的情况，排废液槽内废液就会从排废液槽的顶部溢出。由此污染工作环境，并可能造成工艺失效。

因此，希望能够提供一种能够有效防止排废液槽内废液从排废液槽的顶部溢出的排废液槽防溢液报警装置。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够有效防止排废液槽内废液从排废液槽的顶部溢出的排废液槽防溢液报警装置，并且，本实用新型还提供一种采用了该排废液槽防溢液报警装置的排废液槽控制装置以。

根据本实用新型的第一方面，提供了一种排废液槽防溢液报警装置，其包括：继电器、延时继电器、以及与延时继电器相连的逻辑信号处理装置；其中，继电器和延时继电器接收相同的输入信号，延时继电器将延时后的输入信号传递给逻辑信号处理装置，并且继电器将输出信号输入至逻辑信号处理装置；逻辑信号处理装置在接收到输入信号和输出信号之后，判断输入信号和输出信号是否一致；如果输入信号和输出信号不一致，则判断继电器发生了故障，由此触发报警。

根据本实用新型的第二方面，提供了一种排废液槽控制装置，其包括：依次连接的用于提供电能的电源、自动变频的变压器、用于感测排废液槽的液位高度的液位传感器、继电器、交流接触器、以及用于吸引排废液槽中的废液的泵；所述排废液槽控制装置还包括：延时继电器、以及与延时继电器相连的逻辑信号处理装置；其中，继电器和延时继电器接收相同的输入信号，延时继电器将延时后的输入信号传递给逻辑信号处理装置，并且继电器将输出信号输入至逻辑信号处理装置；逻辑信号处理装置在接收到输入信号和输出信号之后，判断输入信号和输出信号是否一致；如果输入信号和输出信号不一致，则判断继电器发生了故障，由此触发报警。

优选地，所述排废液槽控制装置还包括用于报警的提醒装置，提醒装置是蜂鸣器和/或闪烁灯。

优选地，所述排废液槽控制装置还包括与液位传感器相连的液位报警装置，液位报警装置在排废液槽的液位高度高于预定高度时发生报警。

优选地，所述排废液槽控制装置还包括与泵相连接的泵报警装置，泵报警装置在泵连续工作超过预定时间段时发生报警。

优选地，所述排废液槽控制装置还包括与积液盘相连接的漏液报警装置，漏液报警装置在积液盘中存在液体时发生报警。

在本实用新型中，在现有排废液槽的排废液控制电路结构中，增加了一个逻辑信号处理装置，其分别收集继电器两端的输入信号和输出信号，如果输入信号和输出信号不一致，即可确认为继电器发生了故障，由此触发报警。由此，可以确保在继电器发生故障后，能及时提醒诸如实验室人员之类的操作人员，避免因槽溢液而造成不利影响。

附图说明