[实用新型]化学品桶快速连接装置

说明书

[技术领域]

本实用新型涉及化学品桶快速连接系统技术领域，具体地说是一种能够预警化学品液位并自带取样接口、进气口和化学品供应口的化学品桶快速连接装置。

[背景技术]

化学品供应系统的化学品来源，一般具有分3大类，分别是槽车(Lorry)，标准桶槽(Chemical Container)，以及本地储存槽(Local Tank)。由于集成电路制造工艺中需要使用到较多种类的化学品，因此对比在有限的场地条件下建立大量的本地储存槽(Tank)和给每种化学品建立槽车连接单元(CCB系统)来说，大部分厂商都会对使用量相对不大的化学品建立双桶槽(Dual Drum)或者双IBC(intermediate bulk containers复合型中型散装容器)供应系统。并运用人工换桶的方式来进行化学品的补充。

对于化学品桶槽来说，由于需要在向供应系统供给化学品时进行氮气等惰性气体的补充以获得桶内外的压力平衡，因此会在化学品桶上分别开设一个气口和一个化学品进出口。由于半导体用化学品大多都属于危险化学品，即使在使用专用工具的条件下，更换化学品桶对于操作人员来说也是一项费时费力的工作。主要原因就是为了防止化学品的泄漏，接头都设计的结构复杂

除此之外，为了监控桶槽内的化学品液位高度和纯度，桶槽侧壁上会安装专有的液位传感器，并通过增开额外的接口或者使用专用的多接口接头，增加一个化学品取样口。

目前的多接口化学品桶接头在拆卸时大多需要提前将外部接头的连接断开才能进行接头的拆取工作，使得换取的工作量比较大。此外，大多数厂商对于化学品桶内部化学品容量的监控采取称重或者在桶槽侧壁安装液位传感器来实现，由于半导体化学品大多属于危险化学品，因此具有比较强烈的腐蚀性和危险性。电子称在腐蚀环境的防护难度和成本较高，侧面安装液位传感器也比较容易引起化学品的泄漏或误侦测。

[发明内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足，而提供一种化学品桶快速连接装置。大幅度降低接头更换难度以及将化学品进口、取样口、化学品气口整合在同一个接头上，使用更加方便、安全。

为实现上述目的本实用新型设计一种化学品桶快速连接装置，包括化学品桶接头本体、化学品桶适配器及音叉液位传感器，所述化学品桶接头本体设有与化学品桶相连通的化学品进口、取样口、化学品气口及传感器安装接口，所述传感器安装接口通过卡箍接头连接音叉液位传感器，所述化学品桶接头本体下端设有可旋转的化学品桶适配器，所述化学品桶接头本体与化学品桶适配器之间密封连接，所述化学品桶适配器的底部设有桶接头定位块。

所述化学品桶接头本体与化学品桶适配器之间连接处设有密封圈、密封环。

所述化学品桶接头本体与化学品桶适配器采用聚乙烯材料制成。

所述卡箍接头采用卫生级快拆卡箍接头。

所述化学品桶接头本体底端面上设置的化学品出口连接进液管。

本实用新型同现有技术相比，结构简单、新颖，使用方便、安全，由于化学品桶接头本体上设有可旋转的化学品桶适配器，当与化学品桶接头分离时，无需断开外部接头可以直接旋转化学品桶适配器进行拆取工作，所以大大提高了化学品桶接头的更换速度。由于集成了液位传感器，避免了桶侧面传感器引起的化学品泄漏现象或误侦测。传感器采用KF型法兰结构连接，大大提高了其维护性；增加了取样进口可在输送化学品的过程中同时对化学品进行取样。

[附图说明]

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1的A-A剖面图；

图中：1、化学品桶接头本体 2、化学品桶适配器 3、化学品进口 4、桶接头定位块 5、密封圈 6、密封环 7、音叉液位传感器 8、卡箍接头 9、化学品气口 10、取样口 11、进液管。

[具体实施方式]

下面结合附图对本实用新型作以下进一步说明：

如图所示，本实用新型包括化学品桶接头本体1、化学品桶适配器2及音叉液位传感器7，所述化学品桶接头本体1设有与化学品桶相连通的化学品进口3、取样口10、化学品气口9及传感器安装接口，所述传感器安装接口通过卡箍接头8连接音叉液位传感器7，所述化学品桶接头本体下端密封连接化学品桶适配器2，所述化学品桶适配器可以在化学品桶接头本体上旋转，所述化学品桶适配器的底部设有桶接头定位块4。所述化学品桶接头本体与化学品桶适配器之间连接处设有密封圈5、密封环6。