[实用新型]防干扰的精密纳米位移触发器

说明书

技术领域

本实用新型属于位移检测技术领域，涉及一种位移触发器，尤其涉及一种防干扰的精密纳米位移触发器。

背景技术

精密纳米位移触发器是一种在复杂的电磁环境中产生可控的精密纳米量级位移的器件，可用于精密控制光学元件，精密加工部件，精密仪器仪表的位移量。

现有产品是电机带螺纹导杆直接产生位移量，其分辨率较低。当使用环境有电磁干扰时，会产生误动作。而使用时如果有温度变化，由于温度的线膨胀作用和润滑油黏度变化，会产生增加摩擦应力，大大影响了精度。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种防干扰的精密纳米位移触发器，可解决现有技术的不足之处。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种防干扰的精密纳米位移触发器，所述触发器包括依次连接的控制系统、微电机、执行机构；

所述控制系统包括：

改正数据库，用以修正触发器出现的误差；所述控制系统从改正数据库调取预先测出的改正数，根据该改正数进行相应的控制；

传感器，用以检测触发器的移动，并将感受到信息传给控制台。

判别电路，用以在电流电压有突跳时采取中断信号，防止环境电磁干扰；

所述执行机构包括联轴节、螺杆螺母组合、滑台机构、移动发生器；所述联轴节的一端连接微电机，另一端连接所述螺杆螺母组合；所述螺杆螺母组合设置于滑台机构内，联轴节、移动发生器分别设置在滑台机构的两端；

所述控制系统控制微电机转动设定角度，通过联轴节、螺杆螺母组合转变成纳米量位移，实现物件的可控纳米量线性移动。

作为本实用新型的一种优选方案，所述螺杆螺母组合包括第一精密螺杆、第一精密螺母、第二精密螺杆、第二精密螺母；

所述第一精密螺杆采用英制螺纹每寸大于30牙，所述第二精密螺杆采用公知螺纹螺距小于0.8细牙。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第一精密螺杆采用英制螺纹每寸80牙，所述第二精密螺杆采用公知螺纹螺距0.35细牙。

作为本实用新型的一种优选方案，所述第一精密螺母为移动螺母，所述第二精密螺母为固定螺母。

作为本实用新型的一种优选方案，所述滑台机构包括滑台、与该滑台配合的滑台导轨。

作为本实用新型的一种优选方案，所述微电机和第二精密螺母运动为反向，第二精密螺母的动量为两螺距的差值。

作为本实用新型的一种优选方案，由控制系统的控制软件发出控制信号，控制微电机转动设定角度；通过第一精密螺杆或/和第二精密螺杆转变成纳米量位移，实现文件的可控纳米量线性移动；每台移动发生器制成后，并用干涉仪进行定标，记录下工作过程中驱动脉冲和移动量间细微差数作为改进正数，进一步提高精度；所有传输导线均采用防电磁干扰，并用判别电路剔除干扰信号。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型提出的防干扰的精密纳米位移触发器，采用带减速器的微电机，可以用更小功率输出较大扭矩；而且位移量的分辨率也大大提高。同时，本实用新型采用每时80牙的细牙精密螺杆和0.35公制螺纹组成差动，和组成差动螺杆得到很细小的移动量，精密度提高到纳米。本实用新型中，导杆与电机轴用商品化联轴节连接，可防止由热温度变化引起的附加应力，减小了摩擦损耗。本实用新型采用屏蔽线和抗干扰判别提高干扰能力。为了防止温度变化引起的润滑油粘度变化而产生摩擦力变化，采用了从-70℃--300℃均能保持粘度基本不变的FOMBLIN ZLHT润滑油。本触发器若在超低温环境下(指-25℃以下)时，为防止电机轴承，导轨等因温度变形卡死，采用专门的C3系统间隙，而保证了正常工作。

附图说明

图1为本实用新型精密纳米位移触发器的结构示意图。

图2为本实用新型精密纳米位移触发器的控制原理图。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施例。

实施例一

请参阅图1、图2，本实用新型揭示了一种防干扰的精密纳米位移触发器，所述触发器包括依次连接的控制系统、微电机、执行机构。

如图2所示，所述控制系统包括：改正数据库、传感器、判别电路。改正数据库用来修正触发器出现的误差；如：所述控制系统从改正数据库调取预先测出的改正数，根据该改正数进行相应的控制。传感器用以检测触发器的移动，并将感受到信息传给控制台。判别电路用以在电流电压有突跳时采取中断信号，防止环境电磁干扰。