[实用新型]一种带分子泵的三级抽真空设备

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种带分子泵的三级抽真空设备。

背景技术：

焊接绝热气瓶是一种用于贮运低温液态氧、液态氮、液态氩等气体的深冷压力容器，其设计温度低达-196℃，而外界常温为20℃，所以需要良好的保冷(绝热)结构。高真空多层绝热结构是目前国内外公认的、绝热效果最佳的绝热结构。这样就需要用到抽真空设备，把空间内抽成真空以加强绝热效果。现有技术中的抽真空设备使用的是扩散泵，而扩散泵的缺点是：体积大，能耗高，对真空室有很重的油污染，不环保，工作效率低，稳定性差。因此，有必要予以改进。

发明内容：

本实用新型的发明目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种体积小，能耗低，对真空室污染小更环保且工作效率高、性能更稳定的带分子泵的三级抽真空设备。

本实用新型的发明目的是按下述技术方案实现的：

一种带分子泵的三级抽真空设备，包括旋片真空泵、罗茨真空泵、分子泵和若干气瓶接口，所述旋片真空泵、所述罗茨真空泵、所述分子泵和所述若干气瓶接口依次连接在一起。

所述旋片真空泵和所述罗茨真空泵之间还设有电磁真空带充气阀。

所述罗茨真空泵和所述分子泵之间依次还设有蝶阀、手动插板阀和电动插板阀。

分子泵和所述若干气瓶接口之间依次还设有冷阱、气动高真空挡板阀。

所述气瓶接口上设有真空计。

所述旋片真空泵和所述罗茨真空泵都连接有冷却水。

所述气瓶接口与绝热气瓶连接。

本实用新型相对于现有技术具有如下优点：

本实用新型由于分子泵体积小，能耗低，对真空室污染小更环保且工作效率高，而且使用三级配置，使得整个抽真空设备改变了原有抽真空设备的缺陷，性能更稳定。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式：

参见图1，按照本实用新型提供的一种带分子泵的三级抽真空设备，包括旋片真空泵1、罗茨真空泵2、分子泵3和若干气瓶接口4，旋片真空泵1、罗茨真空泵2、分子泵3和若干气瓶接口4依次连接在一起。旋片真空泵1和罗茨真空泵2之间还设有电磁真空带充气阀5。罗茨真空泵2和分子泵3之间依次还设有蝶阀6、手动插板阀7和电动插板阀8。分子泵3和若干气瓶接口4之间依次还设有冷阱9、气动高真空挡板阀10。

气瓶接口4上设有真空计11。旋片真空泵1和罗茨真空泵2都连接有冷却水12。气瓶接口4与绝热气瓶连接。

上述实施例仅供说明本实用新型之用，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴，本实用新型的专利保护范围应由各权利要求限定。