[实用新型]一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪有效
| 申请号： | 201220096605.1 | 申请日： | 2012-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN202599336U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 汪凯巍;白剑;沈亦兵;杨甬英 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01J9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 周烽 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 球面 测量 波长 扫描 干涉仪 | ||
1.一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪，其特征在于，它包括平移台（1）、被测非球面（2）、第一镜组（3）、分光镜（4）、扩束镜（6）、可调谐激光器（7）、成像透镜（8）、CCD相机（9）、参考平面镜（10）、图像卡（11）、计算机（12）和数据卡（13）；其中，被测非球面（2）固定在平移台（1），被测非球面（2）、第一镜组（3）、分光镜（4）、成像透镜（8）和CCD相机（9）依次同轴放置，参考平面镜（10）置于分光镜（4）的底部，CCD相机（9）、图像卡（11）、计算机（12）和数据卡（13）依次相连，扩束镜（6）和可调谐激光器（7）相连，平移台（1）和可调谐激光器（7）分别与数据卡（13）相连。
2.根据权利要求1所述用于非球面测量的波长扫描干涉仪，其特征在于，还包括一平面镜（5），平面镜（5）将扩束镜（6）扩束的平行光束反射到分光镜（4）。
3.一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪，其特征在于，它包括平移台（1）、被测非球面（2）、第二镜组（14）、分光镜（4）、扩束镜（6）、可调谐激光器（7）、成像透镜（8）、CCD相机（9）、图像卡（11）、计算机（12）和数据卡（13）；其中，所述被测非球面（2）固定在平移台（1），被测非球面（2）、第二镜组（14）、分光镜（4）、成像透镜（8）和CCD相机（9）依次同轴放置，CCD相机（9）、图像卡（11）、计算机（12）和数据卡（13）依次相连，扩束镜（6）和可调谐激光器（7）相连，平移台（1）和可调谐激光器（7）分别与数据卡（13）相连。
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